| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-13页 |
| 第1章 绪论 | 第13-33页 |
| ·引言 | 第13页 |
| ·管筒件内表面处理技术的研究现状 | 第13-18页 |
| ·电镀 | 第13-14页 |
| ·激光强化处理 | 第14-15页 |
| ·物理气相沉积法 | 第15-17页 |
| ·等离子体浸没离子注入 | 第17页 |
| ·其它 | 第17-18页 |
| ·PIII在管筒内表面处理中的研究现状 | 第18-31页 |
| ·PIII内表面处理的电压效率 | 第19-21页 |
| ·提高内表面离子注入均匀性方法研究 | 第21-26页 |
| ·内表面等离子体浸没离子注入过程的数值模拟 | 第26-31页 |
| ·管筒内壁自激射频放电PIII新方法的提出 | 第31页 |
| ·主要研究内容 | 第31-33页 |
| 第2章 试验材料和方法 | 第33-42页 |
| ·试验材料 | 第33页 |
| ·实验设备及原理 | 第33-35页 |
| ·等离子体密度测量 | 第35-38页 |
| ·等离子体密度测量原理 | 第35-36页 |
| ·等离子体密度测量实验参数 | 第36-38页 |
| ·管筒内壁自激射频放电PIII工艺实验 | 第38-41页 |
| ·实验样品制备 | 第39页 |
| ·实验工艺参数 | 第39-41页 |
| ·分析方法 | 第41-42页 |
| ·X射线光电子能谱(XPS)分析 | 第41页 |
| ·扫描电镜(SEM)分析 | 第41页 |
| ·光学显微镜分析 | 第41页 |
| ·摩擦磨损测试 | 第41页 |
| ·腐蚀测试 | 第41-42页 |
| 第3章 高压脉冲/射频耦合复合电源系统的研制 | 第42-62页 |
| ·串联模式高压脉冲电源研制 | 第42-47页 |
| ·高压脉冲电源的输出指标 | 第42页 |
| ·高压脉冲电源主电路的研制 | 第42-43页 |
| ·高压脉冲电源驱动电路的研制 | 第43-44页 |
| ·高压脉冲电源的调试 | 第44-47页 |
| ·真空电子管模式高压脉冲电源研制 | 第47-49页 |
| ·高压脉冲电源的输出指标 | 第47页 |
| ·高压脉冲电源主电路的研制 | 第47-48页 |
| ·高压脉冲电源的调试 | 第48-49页 |
| ·高压脉冲/射频耦合复合电源系统的研制 | 第49-56页 |
| ·射频/高压脉冲电源系统的输出指标 | 第50页 |
| ·射频/高压脉冲电源系统主电路的研制 | 第50-53页 |
| ·射频/高压脉冲电源系统的调试 | 第53-56页 |
| ·自激射频放电PIII新方法对不锈钢表面改性研究 | 第56-61页 |
| ·本章小结 | 第61-62页 |
| 第4章 管筒内壁自激射频放电等离子体特性研究 | 第62-76页 |
| ·管外辅助等离子体源模式 | 第62-64页 |
| ·管件自身等离子体源模式 | 第64-74页 |
| ·细管射频放电的管口效应 | 第64-67页 |
| ·射频放电条件下管筒内部等离子体分布特性 | 第67-73页 |
| ·脉冲射频放电对管筒内等离子体分布特性的影响 | 第73-74页 |
| ·本章小结 | 第74-76页 |
| 第5章 管筒内表面离子注入PIC数值模拟 | 第76-101页 |
| ·管筒内表面离子注入PIC模型的建立 | 第76-82页 |
| ·管筒内表面离子注入的动力学特征 | 第82-91页 |
| ·离子运动过程 | 第82-84页 |
| ·管筒内部电势时空演变 | 第84-87页 |
| ·管筒内部等离子体密度时空演变 | 第87-88页 |
| ·离子注入能量 | 第88-90页 |
| ·离子注入角度 | 第90-91页 |
| ·实验参数对离子注入剂量均匀性的影响 | 第91-100页 |
| ·管筒直径对注入剂量均匀性的影响 | 第91-94页 |
| ·管筒长度对注入剂量均匀性的影响 | 第94-95页 |
| ·等离子体密度对注入剂量均匀性的影响 | 第95-98页 |
| ·电压幅值对注入剂量均匀性的影响 | 第98-100页 |
| ·本章小结 | 第100-101页 |
| 第6章 管筒内壁自激射频放电等离子体注入及其性能表征 | 第101-128页 |
| ·氮离子注入对表面性能的影响及其性能表征 | 第101-110页 |
| ·管筒内中心点表面成分及相关元素的浓度分布 | 第101-103页 |
| ·管筒内中心点摩擦学性能分析 | 第103-107页 |
| ·管筒内中心点电化学腐蚀性能分析 | 第107-110页 |
| ·碳的加入对表面性能的影响及其性能表征 | 第110-112页 |
| ·管筒内中心点摩擦学性能分析 | 第110-111页 |
| ·管筒内中心点电化学腐蚀性能分析 | 第111-112页 |
| ·管筒内表面氮等离子体注入均匀性分析 | 第112-127页 |
| ·管筒内不同位置表面成分分析 | 第112-113页 |
| ·管筒内不同位置摩擦学性能分析 | 第113-118页 |
| ·管筒内不同位置电化学腐蚀性能分析 | 第118-122页 |
| ·管筒内不同位置颜色差异分析 | 第122-127页 |
| ·本章小结 | 第127-128页 |
| 结论 | 第128-130页 |
| 参考文献 | 第130-146页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文 | 第146-149页 |
| 致谢 | 第149-150页 |
| 个人简历 | 第150页 |