西门子法生产多晶硅的热力学
| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-8页 |
| 第一章 综述 | 第8-18页 |
| 引言 | 第8页 |
| ·硅 | 第8-12页 |
| ·硅的结构和性质 | 第8-10页 |
| ·硅的用途 | 第10-11页 |
| ·多晶硅的战略地位 | 第11-12页 |
| ·多晶硅制备技术发展概况 | 第12-13页 |
| ·西门子法发展历程及国内外现状 | 第13-17页 |
| ·发展历程 | 第13-16页 |
| ·国内外现状 | 第16-17页 |
| ·本课题研究的目的 | 第17-18页 |
| 第二章 热力学计算方法及本文研究体系分析 | 第18-28页 |
| ·复杂化学平衡体系研究概况 | 第19-20页 |
| ·计算方法的新发展 | 第20-22页 |
| ·热力学数据的来源、评价及选取 | 第22-24页 |
| ·热力学数据的来源 | 第22-23页 |
| ·热力学数据的评价 | 第23页 |
| ·数据的选择 | 第23-24页 |
| ·计算方法及计算程序 | 第24-28页 |
| 第三章 结果与讨论 | 第28-61页 |
| ·计算结果 | 第28-38页 |
| ·Δ_rG_m~Θ-T图和K_p~Θ-T图 | 第38-42页 |
| ·气相平衡成分图 | 第42-46页 |
| ·SiHCl_3剩余量分析 | 第46-48页 |
| ·氢气配比对多晶硅产率的影响 | 第48-51页 |
| ·恒温下产率氢气配比图 | 第48-49页 |
| ·恒压下产率氢气配比图 | 第49-51页 |
| ·温度对多晶硅产率的影响 | 第51-53页 |
| ·恒压时的产率温度关系 | 第51-52页 |
| ·氢气配比一定时的产率温度关系 | 第52-53页 |
| ·压力对多晶硅产率的影响 | 第53-55页 |
| ·定温下压力对产率的作用 | 第54-55页 |
| ·氢气配比恒定时压力对产率的作用 | 第55页 |
| ·α因子的变化规律 | 第55-58页 |
| ·定温下X_0对α的影响 | 第55-57页 |
| ·恒压下X_0对α的影响 | 第57-58页 |
| ·实际生产时体系温度、压力和氢气配比的选择 | 第58-61页 |
| ·温度的选取 | 第58页 |
| ·压力的确定 | 第58-59页 |
| ·氢气配比的选择 | 第59-61页 |
| 第四章 结论 | 第61-63页 |
| 附录:西门子体系平衡组分的Matlab计算程序 | 第63-65页 |
| 参考文献 | 第65-70页 |
| 攻读学位期间发表的论文 | 第70-71页 |
| 致谢 | 第71页 |
