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激光烧蚀制备纳米Si薄膜的动力学特征参量研究

摘要第1-5页
Abstract第5-7页
第1章 引言第7-12页
第2章 基本原理和实验方法第12-19页
   ·脉冲激光烧蚀沉积原理及特点第12-14页
   ·脉冲激光烧蚀的实验系统简介第14-16页
   ·薄膜的制备第16页
   ·薄膜检测技术第16-19页
第3章 激光能量密度阈值的确定第19-23页
   ·确定能量密度阈值的意义第19页
   ·实验确定激光能量密度阈值第19-23页
第4章 系统恢复时间的确定第23-29页
   ·确定系统恢复时间的意义第23-24页
   ·实验确定系统的恢复时间第24-29页
第5章 成核区位置的确定第29-49页
   ·成核区的相关理论第29-30页
   ·未引入气流时成核区位置的确定第30-37页
   ·引入气流时成核区位置的确定第37-49页
第6章 结束语第49-50页
参考文献第50-53页
致谢第53页

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