| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第6-10页 |
| ·研究背景 | 第6-9页 |
| ·课题研究的主要内容 | 第9-10页 |
| 第二章 课题综述 | 第10-16页 |
| ·超短脉冲激光技术的发展 | 第10-11页 |
| ·激光微加工工艺 | 第11-13页 |
| ·MEMS 工艺 | 第12页 |
| ·MEMS 中的激光微加工 | 第12-13页 |
| ·激光诱导等离子体的研究现状 | 第13-14页 |
| ·激光热加工与激光诱导等离子体法的比较 | 第14-15页 |
| ·激光脉冲加工中的两种效应 | 第15-16页 |
| 第三章 实验的理论基础 | 第16-25页 |
| ·等离子体理论概要 | 第16-17页 |
| ·光致等离子体的产生机理 | 第17-19页 |
| ·光致等离子体对激光能量耦合的影响因素 | 第19-21页 |
| ·能量密度 | 第19-20页 |
| ·波长 | 第20-21页 |
| ·激光在等离子体中的传播 | 第21-22页 |
| ·等离子体对激光的吸收 | 第22-24页 |
| ·逆韧致吸收 | 第23-24页 |
| ·共振吸收 | 第24页 |
| ·晕区中激光与等离子体的相互作用 | 第24页 |
| ·激光诱发的等离子体冲击波模型 | 第24-25页 |
| 第四章 实验设计 | 第25-29页 |
| ·实验设备 | 第25-28页 |
| ·激光打标机 | 第25-27页 |
| ·检测设备 | 第27-28页 |
| ·实验装置 | 第28-29页 |
| 第五章 微型通道的制作与实验数据的分析 | 第29-33页 |
| ·激光诱导等离子体法加工微通道过程中中激光参数的影响 | 第29-30页 |
| ·激光脉冲次数的影响 | 第29-30页 |
| ·激光功率密度的影响 | 第30页 |
| ·激光加工过程中等离子体的观察研究 | 第30-32页 |
| ·微通道中激光与等离子体相互作用的讨论 | 第32-33页 |
| 第六章 结论和展望 | 第33-35页 |
| ·实验结论 | 第33-34页 |
| ·展望 | 第34-35页 |
| 致谢 | 第35-36页 |
| 参考文献 | 第36-38页 |
| 附录 | 第38-39页 |