微波电子回旋共振等离子体数值模拟
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 1 绪论 | 第9-22页 |
| ·等离子体概述 | 第9-16页 |
| ·什么是等离子体 | 第9-14页 |
| ·等离子体的产生 | 第14页 |
| ·等离子体的研究 | 第14-16页 |
| ·低温等离子体简介 | 第16-19页 |
| ·低温等离子体研究的进展 | 第16-18页 |
| ·低温等离子体发生器及数值模拟 | 第18页 |
| ·低温等离子体展望 | 第18-19页 |
| ·微波ECR等离子体的研究、应用及发展 | 第19-21页 |
| ·微波ECR等离子体的研究 | 第19-20页 |
| ·微波ECR等离子体的应用 | 第20-21页 |
| ·微波ECR等离子体的发展 | 第21页 |
| ·本文的主要研究内容即编排 | 第21-22页 |
| 2 微波ECR等离子体技术 | 第22-30页 |
| ·微波ECR等离子体源装置及其特点 | 第22-24页 |
| ·微波ECR等离子体原理 | 第24-29页 |
| ·微波ECR等离子体数值模拟方法 | 第29-30页 |
| 3 微波ECR等离子体数学模型 | 第30-39页 |
| ·模拟对象 | 第30-33页 |
| ·基本方程 | 第33-36页 |
| ·磁场的物理模型 | 第33页 |
| ·等离子体的物理模型 | 第33-35页 |
| ·无量纲化方程 | 第35-36页 |
| ·初始条件及参数的选取 | 第36-37页 |
| ·边界条件 | 第37-39页 |
| 4 微波ECR等离子体的磁场和共振区 | 第39-44页 |
| ·磁场强度的模拟结果 | 第39-40页 |
| ·电流变化时磁场模拟结果 | 第40-44页 |
| 5 等离子体的模拟结果及分析 | 第44-53页 |
| ·电流、压强变化时密度、温度模拟结果及分析 | 第44-49页 |
| ·稳态时密度、温度模拟结果及分析 | 第49-51页 |
| ·微波功率对等离子体密度的影响 | 第51-52页 |
| ·电子密度随时间的演化 | 第52-53页 |
| 结论 | 第53-54页 |
| 参考文献 | 第54-56页 |
| 攻读硕士学士期间发表学位论文情况 | 第56-57页 |
| 致谢 | 第57-58页 |
