静电微泵理论设计及动态分析
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-8页 |
| 1 绪论 | 第8-20页 |
| ·研究背景 | 第8-12页 |
| ·微泵简介 | 第12-14页 |
| ·微泵研究现状 | 第14-19页 |
| ·本文主要研究内容 | 第19-20页 |
| 2 MEMS 相关基础技术研究 | 第20-30页 |
| ·尺寸效应 | 第20-22页 |
| ·MEMS 加工与封装技术 | 第22-26页 |
| ·MEMS 器件分析方法 | 第26-29页 |
| ·本章小节 | 第29-30页 |
| 3 静电微泵结构的理论建模 | 第30-44页 |
| ·振膜式静电微泵的结构及其工作原理 | 第30-31页 |
| ·泵膜的理论分析 | 第31-35页 |
| ·阀单元分析 | 第35-41页 |
| ·微泵流量及压力 | 第41-43页 |
| ·本章小结 | 第43-44页 |
| 4 静电微泵致动特性及其尺寸效应分析 | 第44-53页 |
| ·尺寸效应的数学模型 | 第44-45页 |
| ·静电驱动及尺寸效应 | 第45-48页 |
| ·静电吸合及尺寸效应分析 | 第48-52页 |
| ·本章小结 | 第52-53页 |
| 5. 静电微泵的动态分析 | 第53-66页 |
| ·微泵的有限元分析 | 第53-60页 |
| ·微泵流体有限元分析 | 第60-63页 |
| ·静电微泵泵膜等效电路 | 第63-65页 |
| ·本章小结 | 第65-66页 |
| 6. 结论与展望 | 第66-68页 |
| ·论文总结 | 第66-67页 |
| ·研究展望 | 第67-68页 |
| 致谢 | 第68-69页 |
| 参考文献 | 第69-72页 |
| 附录 | 第72页 |
