薄膜变压器与电感器研究
| 摘要 | 第1-7页 |
| ABSTRACT | 第7-13页 |
| 第一章 引言 | 第13-19页 |
| ·引言 | 第13-14页 |
| ·国内外发展动态 | 第14-17页 |
| ·薄膜变压器 | 第14-15页 |
| ·薄膜电感器 | 第15-17页 |
| ·本论文工作概述 | 第17-19页 |
| 第二章 薄膜变压器和电感器磁芯材料 | 第19-29页 |
| ·薄膜变压器、电感器磁芯材料的性能要求 | 第19页 |
| ·常用薄膜变压器和电感器磁芯材料 | 第19-23页 |
| ·玻莫合金薄膜 | 第19-20页 |
| ·CoNbZr磁性薄膜 | 第20-21页 |
| ·FeCrTaN磁性薄膜 | 第21页 |
| ·Ti/FeTaN | 第21-22页 |
| ·CoZrTa薄膜 | 第22页 |
| ·T—M—O系颗粒膜 | 第22页 |
| ·Fe-N系氮化物纳米晶薄膜 | 第22页 |
| ·Co-Ni-Fe系合金直流电镀膜 | 第22-23页 |
| ·Co-MgF_2颗粒膜 | 第23页 |
| ·软磁薄膜基本特性及CoNbZr薄膜性能研究 | 第23-29页 |
| ·软磁薄膜基本特性 | 第23-25页 |
| ·薄膜的自发磁化 | 第23-24页 |
| ·薄膜的形状各向异性 | 第24-25页 |
| ·软磁薄膜材料中存在的损耗 | 第25页 |
| ·CoNbZr高频软磁薄膜性能研究 | 第25-29页 |
| 第三章 薄膜变压器理论研究 | 第29-37页 |
| ·微磁学模型 | 第29-31页 |
| ·薄膜变压器的等效电路 | 第31-33页 |
| ·并联电感(Lp)和并联电阻(Rp) | 第31-32页 |
| ·膜状变压器损耗 | 第32-33页 |
| ·基于Maxwell方程的阻抗分析模型 | 第33-37页 |
| 第四章 薄膜电感设计与理论模拟 | 第37-58页 |
| ·薄膜电感概述 | 第37页 |
| ·薄膜电感的绕线形式 | 第37-40页 |
| ·薄膜电感表面磁场的分布 | 第40-44页 |
| ·不同绕线形状薄膜电感计算模型 | 第44-55页 |
| ·圆形螺旋形电感模型 | 第44-50页 |
| ·矩形螺旋形电感模型 | 第50-53页 |
| ·折线型电感模型 | 第53-55页 |
| ·不同绕线形状薄膜电感计算值与测量值对比 | 第55-58页 |
| 第五章 薄膜变压器设计与制作 | 第58-81页 |
| ·神经网络简介 | 第58-60页 |
| ·神经网络的发展 | 第58-59页 |
| ·神经网络的特征 | 第59-60页 |
| ·人工神经网络的结构 | 第60-61页 |
| ·前馈神经网络及其学习算法 | 第61-64页 |
| ·BP算法基本思想 | 第62页 |
| ·网络的训练 | 第62-64页 |
| ·人工神经网络模型建立及其功能 | 第64-66页 |
| ·人工神经网络模型软件的设计以及效果检验 | 第66-69页 |
| ·人工神经网络模型软件的设计 | 第66-67页 |
| ·人工神经网络模型的效果检验 | 第67-69页 |
| ·样本集1的训练 | 第68页 |
| ·样本集2的训练 | 第68-69页 |
| ·人工神经网络模型在薄膜变压器设计中的应用 | 第69-73页 |
| ·薄膜变压器人工神经网络的参数设定 | 第69-70页 |
| ·训练及检验薄膜变压器人工神经网络 | 第70-73页 |
| ·四阵列I型薄膜变压器设计 | 第73-75页 |
| ·I型薄膜变压器的制作 | 第75-81页 |
| ·工艺与设备 | 第75-77页 |
| ·磁控溅射 | 第75-76页 |
| ·真空蒸发镀膜 | 第76-77页 |
| ·工艺路线 | 第77-81页 |
| ·薄膜变压器制作的流程图 | 第77-78页 |
| ·掩膜和夹具的设计与制作 | 第78页 |
| ·基片的选择和清洗 | 第78-79页 |
| ·下电极制作 | 第79页 |
| ·绝缘层制作 | 第79页 |
| ·磁芯薄膜制作 | 第79页 |
| ·上电极制作 | 第79页 |
| ·特殊处理 | 第79-81页 |
| 第六章 薄膜变压器性能测试与结论分析 | 第81-96页 |
| ·变压器性能测试原理 | 第81-84页 |
| ·直流电阻测试 | 第82页 |
| ·等效串联电阻/串联电感的测试 | 第82-83页 |
| ·阻抗测试 | 第83页 |
| ·分布电容的测试 | 第83-84页 |
| ·插入损耗(ILOS)的测试 | 第84页 |
| ·品质因子Q的测试 | 第84页 |
| ·磁芯薄膜对薄膜变压器性能的影响 | 第84-87页 |
| ·磁芯薄膜厚度对变压器性能的影响 | 第87-89页 |
| ·磁芯薄膜分层数 N对变压器性能的影响 | 第89-91页 |
| ·磁路结构对薄膜变压器的性能影响 | 第91-92页 |
| ·插入损耗的测试 | 第92-93页 |
| ·分布电容的测试 | 第93-94页 |
| ·薄膜变压器的输入输出电压测试 | 第94-96页 |
| 第七章 薄膜电感实验设计及性能研究 | 第96-108页 |
| ·薄膜电感实验设计 | 第96-97页 |
| ·薄膜电感研究方案 | 第96页 |
| ·薄膜电感的制作 | 第96-97页 |
| ·薄膜厚度对薄膜电感性能的影响 | 第97-101页 |
| ·绕线形状对薄膜电感性能的影响 | 第101-103页 |
| ·改进型PCB薄膜电感 | 第103-105页 |
| ·“三明治”型薄膜电感 | 第105-108页 |
| 第八章 结语和展望 | 第108-111页 |
| 致谢 | 第111-112页 |
| 参考文献 | 第112-117页 |
| 攻读博士学位期间取得的研究成果 | 第117页 |
