| 中文摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-7页 |
| 第一章 前言 | 第7-24页 |
| ·AlN 的晶体结构和基本性质 | 第7-9页 |
| ·AlN 研究的历史与现状 | 第9-15页 |
| ·光学常数与光学带隙的计算 | 第15-22页 |
| ·本论文的主要工作 | 第22-24页 |
| 第二章 样品的制备和表征 | 第24-31页 |
| ·多靶磁控溅射原理 | 第24-26页 |
| ·样品的制备 | 第26-28页 |
| ·样品的表征 | 第28-31页 |
| 第三章 AlN 薄膜的结构与光学性质 | 第31-50页 |
| ·N_2 分压对AlN 薄膜的影响 | 第31-46页 |
| ·总溅射气体压强对 AlN 薄膜的影响 | 第46-48页 |
| ·本章小结 | 第48-50页 |
| 第四章 Fe 掺杂AlN 薄膜的结构与性质 | 第50-64页 |
| ·Fe 掺杂AlN 薄膜的成分与Fe 的化合态 | 第50-52页 |
| ·Fe掺杂AlN薄膜的结构与性质 | 第52-59页 |
| ·N_2 分压对 Fe 掺杂 AlN 薄膜的影响 | 第59-63页 |
| ·本章小结 | 第63-64页 |
| 第五章 结论 | 第64-66页 |
| 参考文献 | 第66-74页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文 | 第74-75页 |
| 致谢 | 第75页 |