| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-16页 |
| ·纳米测量机介绍 | 第7-8页 |
| ·纳米测量机测头概述 | 第8-14页 |
| ·本文的意义及主要工作 | 第14-16页 |
| 第二章 基于干涉法的纳米测量机测头理论分析及方案设计 | 第16-30页 |
| ·测头总体设计 | 第16-17页 |
| ·基于斐索干涉仪的光路设计 | 第17-24页 |
| ·光电器件选择 | 第24-25页 |
| ·接触模式探针 | 第25-26页 |
| ·探针夹持器设计 | 第26-29页 |
| ·本章小结 | 第29-30页 |
| 第三章 测头系统硬件电路设计 | 第30-47页 |
| ·测试校准系统总体设计 | 第30-31页 |
| ·纳米测量和定位机（NMM）系统 | 第31-36页 |
| ·测量原理和结构 | 第31-34页 |
| ·电气单元 | 第34-36页 |
| ·系统总体方案设计 | 第36页 |
| ·前置放大电路 | 第36-38页 |
| ·数据采集部分 | 第38-41页 |
| ·MAX1187 的工作时序 | 第38-40页 |
| ·MAX1187 的电路连接 | 第40-41页 |
| ·电平转换器件 | 第41页 |
| ·数字信号处理器 | 第41-44页 |
| ·DSP的选择与特点 | 第41-43页 |
| ·TM5320LF2407A的外围电路 | 第43-44页 |
| ·系统的电源网络 | 第44-45页 |
| ·外部RAM空间 | 第45页 |
| ·串行通信部分 | 第45-46页 |
| ·本章小结 | 第46-47页 |
| 第四章 测头系统软件设计及实现 | 第47-56页 |
| ·NMM测量控制软件 | 第47-48页 |
| ·DSP软件 | 第48-52页 |
| ·AD数据采集软件设计 | 第48-50页 |
| ·DSP异步串行通信程序设计 | 第50-52页 |
| ·上位机软件 | 第52-55页 |
| ·MSComm控件的简单介绍 | 第53页 |
| ·VB中利用Mscomm控件实现串口通信的过程 | 第53-55页 |
| ·本章小结 | 第55-56页 |
| 第五章 实验及结果分析 | 第56-64页 |
| ·光电二极管特性测试 | 第56-58页 |
| ·压电陶瓷特性测试 | 第58-59页 |
| ·采集电路的测试 | 第59-61页 |
| ·上位机显示 | 第61页 |
| ·干涉仪性能测试 | 第61-63页 |
| ·本章小结 | 第63-64页 |
| 第六章 结论与展望 | 第64-65页 |
| 参考文献 | 第65-69页 |
| 致谢 | 第69页 |