MOCVD工艺沉积YBCO超导层实验研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-9页 |
| 第一章 概述 | 第9-19页 |
| ·高温超导材料简介 | 第9-10页 |
| ·高温超导的主要性质及应用 | 第10-12页 |
| ·零电阻效应 | 第11页 |
| ·迈斯纳效应 | 第11页 |
| ·高温超导的应用 | 第11-12页 |
| ·YBCO 高温超导体的结构特点 | 第12-14页 |
| ·YBCO 薄膜的制备技术 | 第14-16页 |
| ·YBCO 高温超导带材的研究现状 | 第16-18页 |
| ·本论文的研究意义和内容 | 第18-19页 |
| 第二章 实验方法及原理 | 第19-34页 |
| ·MOCVD 技术简介 | 第19-20页 |
| ·自制MOCVD 系统 | 第20-29页 |
| ·进液装置的设计与改进 | 第21-22页 |
| ·蒸发皿的设计与改进 | 第22-25页 |
| ·反应室温度场和气流场的模拟 | 第25-29页 |
| ·YBCO 薄膜的表征方法 | 第29-34页 |
| ·X 射线衍射（XRD） | 第29-30页 |
| ·扫描电子显微镜（SEM） | 第30-32页 |
| ·临界电流密度（Jc） | 第32-34页 |
| 第三章 金属有机源的制备和研究 | 第34-44页 |
| ·金属有机源的性质 | 第34-35页 |
| ·金属有机源的制备 | 第35-39页 |
| ·实验仪器及试剂 | 第35页 |
| ·Y(tmhd)_3 的制备实验 | 第35-36页 |
| ·Ba(tmhd)_2 的制备实验 | 第36-37页 |
| ·Cu(tmhd)_2 的制备实验 | 第37页 |
| ·实验结果 | 第37-39页 |
| ·金属有机源的提纯 | 第39-40页 |
| ·重结晶法提纯 | 第39-40页 |
| ·升华凝华法提纯 | 第40页 |
| ·加助配体Ba 源的制备 | 第40-43页 |
| ·本章小节 | 第43-44页 |
| 第四章 金属基带上YBCO 的制备 | 第44-57页 |
| ·工艺条件综合性分析 | 第44页 |
| ·制备工艺对YBCO 成膜的影响 | 第44-54页 |
| ·温度对YBCO 成膜的影响 | 第44-49页 |
| ·氧分压对YBCO 成膜的影响 | 第49-52页 |
| ·源配比对YBCO 成膜的影响 | 第52-54页 |
| ·MOCVD 工艺沉积YBCO 的可重复性验证 | 第54-56页 |
| ·本章小节 | 第56-57页 |
| 第五章 结论 | 第57-59页 |
| 致谢 | 第59-60页 |
| 参考文献 | 第60-63页 |
| 攻硕期间取得的成果 | 第63-64页 |
