| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-9页 |
| 第一章 引言 | 第9-19页 |
| ·射频MEMS 器件简介 | 第9-12页 |
| ·射频MEMS 开关 | 第12-17页 |
| ·射频MEMS 开关的特点 | 第12-13页 |
| ·射频MEMS 开关的分类 | 第13-14页 |
| ·典型的射频MEMS 开关 | 第14-17页 |
| ·本论文的主要工作 | 第17-18页 |
| ·本章小结 | 第18-19页 |
| 第二章 电容式RF MEMS并联开关的参数分析 | 第19-34页 |
| ·射频开关性能参数的定义 | 第19-20页 |
| ·开关的阈值电压 | 第20-23页 |
| ·RF MEMS 电容式并联开关的电路模型 | 第23-24页 |
| ·RF MEMS 电容式并联开关的S 参数 | 第24-25页 |
| ·RF MEMS电容式并联开关的CLR参数 | 第25-32页 |
| ·电容 | 第25-28页 |
| ·电感 | 第28-30页 |
| ·电阻 | 第30-32页 |
| ·开关功耗 | 第32-33页 |
| ·本章小结 | 第33-34页 |
| 第三章 电容式RF MEMS并联开关的电磁场分析 | 第34-46页 |
| ·共面波导的电磁场 | 第34-35页 |
| ·开关膜桥的电流分布 | 第35-36页 |
| ·开关充电产生的电磁场 | 第36-39页 |
| ·开关up态到down态的转换过程中的电磁场 | 第39-43页 |
| ·开关膜桥的振动力学方程 | 第39-40页 |
| ·边界条件 | 第40页 |
| ·固有频率和模态函数 | 第40-42页 |
| ·振动中的阻尼 | 第42-43页 |
| ·开关放电产生的电磁场 | 第43-45页 |
| ·本章小结 | 第45-46页 |
| 第四章 电容式RF MEMS并联开关产生的干扰信号 | 第46-59页 |
| ·电磁干扰的性质 | 第46页 |
| ·电磁干扰的产生 | 第46-50页 |
| ·电磁干扰源 | 第47-49页 |
| ·电磁干扰的途径 | 第49-50页 |
| ·开关充电过程中产生的干扰信号 | 第50-52页 |
| ·开关膜桥运动过程中产生的干扰信号 | 第52-55页 |
| ·开关放电过程中产生的干扰信号 | 第55-58页 |
| ·本章小结 | 第58-59页 |
| 第五章 总结 | 第59-60页 |
| 参考文献 | 第60-63页 |
| 图表索引 | 第63-65页 |
| 作者简介 | 第65页 |
| 攻读硕士期间发表的论文及专利 | 第65-66页 |
| 致谢 | 第66页 |