| 中文摘要 | 第1-6页 |
| 1 引言 | 第6-16页 |
| ·等离子体理论概述 | 第6-9页 |
| ·离子注入技术 | 第9-14页 |
| ·一般束线离子注入 | 第11-12页 |
| ·等离子体源离子注入 | 第12-14页 |
| ·等离子体源离子注入的发展与应用 | 第14-15页 |
| ·本文的完成工作 | 第15-16页 |
| 2 等离子体源离子注入过程中鞘层演化的物理过程研究 | 第16-24页 |
| ·PSII过程中等离子体鞘层演化的研究方法 | 第16-21页 |
| ·解析法 | 第17-18页 |
| ·流体动力学法 | 第18-19页 |
| ·Monte Carlo方法 | 第19-20页 |
| ·PIC(Particle in cell)方法 | 第20-21页 |
| ·PSII过程中的流体动力学求解方法 | 第21-24页 |
| 3 空心圆管内等离子体源离子注入鞘层的数值模拟 | 第24-37页 |
| ·计算机模拟 | 第24-26页 |
| ·空心圆管内无附加电极时的数值模拟结果 | 第26-30页 |
| ·空心圆管内轴线处放置附加零电位电极情况下的数值模拟结果 | 第30-36页 |
| ·小结 | 第36-37页 |
| 4 球形容器内等离子体源离子注入过程中鞘层的数值模拟 | 第37-45页 |
| ·等离子体鞘层的计算机模拟 | 第37-39页 |
| ·球心处放置附加零电位电极情况下的数值模拟 | 第39-44页 |
| ·小结 | 第44-45页 |
| 5 结论 | 第45-46页 |
| 致谢 | 第46页 |
| 英文摘要 | 第46-47页 |
| 参考文献 | 第47-52页 |
| 学位论文独创性声明 | 第52页 |
| 学位论文版权的使用授权书 | 第52页 |
