| 第一章 绪论 | 第1-18页 |
| ·ZnO薄膜的基本特性 | 第9-10页 |
| ·ZnO薄膜的应用 | 第10-12页 |
| ·声表面波器件 | 第10页 |
| ·压电传感器 | 第10-11页 |
| ·紫外光探测器 | 第11页 |
| ·气敏传感器 | 第11页 |
| ·压力传感器 | 第11-12页 |
| ·ZnO薄膜的制备方法 | 第12-15页 |
| ·金属有机化学气相沉积 | 第12-13页 |
| ·脉冲激光沉积 | 第13页 |
| ·溶胶-凝胶法 | 第13-14页 |
| ·磁控溅射法 | 第14页 |
| ·分子束外延 | 第14-15页 |
| ·压电传感器 | 第15-16页 |
| ·有限元分析 | 第16页 |
| ·本论文研究的意义、目的和内容 | 第16-18页 |
| 第二章 ZnO薄膜的制备 | 第18-29页 |
| ·ZnO薄膜制备技术路线 | 第18-19页 |
| ·ZnO薄膜的制备原理 | 第19-23页 |
| ·直流反应溅射镀膜的基本原理 | 第19-22页 |
| ·磁控溅射原理 | 第22-23页 |
| ·ZnO薄膜的制备工艺 | 第23-27页 |
| ·溅射装置 | 第23-24页 |
| ·实验 | 第24-27页 |
| ·本章小结 | 第27-29页 |
| 第三章 ZnO薄膜特性研究 | 第29-47页 |
| ·ZnO薄膜的特性测试方法 | 第29-35页 |
| ·直接测试方法 | 第29-30页 |
| ·间接测试方法 | 第30-34页 |
| ·未来测试的可能方法 | 第34-35页 |
| ·工艺参数对薄膜性能影响 | 第35-41页 |
| ·X射线衍射分析 | 第35-40页 |
| ·ZnO薄膜表面形貌及晶粒尺寸 | 第40-41页 |
| ·测试结果分析 | 第41页 |
| ·最佳工艺制备的ZnO薄膜特性表征 | 第41-46页 |
| ·X射线衍射谱图 | 第42页 |
| ·X射线光电子能谱 | 第42-44页 |
| ·表面形貌 | 第44-46页 |
| ·电阻率 | 第46页 |
| ·压电系数 | 第46页 |
| ·本章小结 | 第46-47页 |
| 第四章 ZnO压电传感器结构设计及ANSYS分析建模 | 第47-57页 |
| ·压电传感器工作原理 | 第47页 |
| ·ZnO压电传感器单元结构 | 第47-48页 |
| ·ZnO压电传感器悬臂梁式结构 | 第48-56页 |
| ·结构描述 | 第48-49页 |
| ·理论分析 | 第49页 |
| ·ZnO薄膜有限元分析 | 第49-51页 |
| ·ANSYS建模及分析 | 第51-56页 |
| ·本章小结 | 第56-57页 |
| 第五章 结论及展望 | 第57-58页 |
| 致谢 | 第58-59页 |
| 参考文献 | 第59-64页 |
| 攻读硕士期间研究成果 | 第64页 |