| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-11页 |
| 第1章 绪论 | 第11-23页 |
| ·引言 | 第11-13页 |
| ·磁过滤阴极真空弧(FCVA)简介 | 第13-17页 |
| ·磁过滤阴极真空弧的工作原理 | 第14-15页 |
| ·磁过滤阴极真空弧沉积的特点 | 第15-16页 |
| ·磁过滤阴极真空弧沉积的应用 | 第16-17页 |
| ·类金刚石薄膜的国内外研究现状 | 第17-21页 |
| ·本文的研究背景及意义 | 第21-23页 |
| 第2章 实验方案及内容 | 第23-34页 |
| ·实验方案 | 第23页 |
| ·样品预处理 | 第23-24页 |
| ·薄膜制备 | 第24-27页 |
| ·退火 | 第27页 |
| ·薄膜的结构、成分及形貌表征 | 第27-30页 |
| ·Raman光谱分析 | 第27-28页 |
| ·XPS分析 | 第28-29页 |
| ·膜层厚度测量及形貌观察 | 第29-30页 |
| ·薄膜的机械性能评价 | 第30-34页 |
| ·显微硬度测量 | 第30-31页 |
| ·纳米硬度测量 | 第31页 |
| ·膜基结合力测量 | 第31-33页 |
| ·摩擦磨损性能评价 | 第33-34页 |
| 第3章 薄膜的成份、结构及表面形貌分析 | 第34-41页 |
| ·Raman结果及分析 | 第34-36页 |
| ·XPS结果及分析 | 第36-38页 |
| ·薄膜厚度及表面形貌分析 | 第38-40页 |
| ·本章小结 | 第40-41页 |
| 第4章 薄膜的力学性能研究 | 第41-59页 |
| ·薄膜的硬度测量结果及分析 | 第41-44页 |
| ·薄膜的显微硬度测试结果及分析 | 第41-42页 |
| ·薄膜的纳米硬度测试结果及分析 | 第42-44页 |
| ·膜基结合力结果及分析 | 第44-47页 |
| ·摩擦磨损性能分析 | 第47-57页 |
| ·讨论 | 第57-58页 |
| ·本章小结 | 第58-59页 |
| 第5章 退火对多层膜结构及性能的影响 | 第59-65页 |
| ·退火对多层膜结构的影响 | 第59-60页 |
| ·退火对多层膜硬度的影响 | 第60-61页 |
| ·退火对多层膜摩擦磨损性能的影响 | 第61-64页 |
| ·本章小结 | 第64-65页 |
| 第6章 类金刚石多层膜的应用 | 第65-79页 |
| ·类金刚石多层膜在硬质合金、高速钢及工具钢基体上的应用 | 第65-70页 |
| ·类金刚石多层膜在不锈钢基体上的应用 | 第70-72页 |
| ·类金刚石多层膜在Co-Cr-Mo合金基体上的应用 | 第72-75页 |
| ·类金刚石多层膜在超硬铝基体上的应用 | 第75-77页 |
| ·本章小结 | 第77-79页 |
| 结论 | 第79-80页 |
| 致谢 | 第80-81页 |
| 参考文献 | 第81-91页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第91-92页 |