| 第一章 绪论 | 第1-15页 |
| 1．1 引言 | 第7页 |
| 1．2 常用非球面检测方法概述 | 第7-13页 |
| 1．3 课题研究的主要内容及意义 | 第13-14页 |
| 1．4 本文主要研究方法及技术路线 | 第14页 |
| 1．5 小结 | 第14-15页 |
| 第二章 ZYGO GPI XP HR 菲索型数字干涉仪及其功能扩展 | 第15-23页 |
| 2．1 干涉检测主要方法及其原理 | 第15-17页 |
| 2．1．1 静态条纹分析法 | 第16页 |
| 2．1．2 动态条纹分析法 | 第16-17页 |
| 2．2 ZYGO XP GPI HP 菲索型数字干涉仪及其适用范围 | 第17-19页 |
| 2．3 ZYGO 干涉仪功能扩展,及其用于检验二次曲面的自准直系统 | 第19-22页 |
| 2．3．1 检验抛物面的自准直系统 | 第19-20页 |
| 2．3．2 检验椭球面的自准直系统 | 第20-21页 |
| 2．3．3 检验双曲面的自准直系统 | 第21-22页 |
| 2．4 小结 | 第22-23页 |
| 第三章 Zernike 多项式拟合的理论基础及实验分析 | 第23-37页 |
| 3．1 Zernike 多项式拟合的基本原理 | 第23-29页 |
| 3．1．1 Zernike 多项式的优点 | 第23-25页 |
| 3．1．2 Zernike 多项式拟合中的一些关键技术问题 | 第25-27页 |
| 3．1．3 波前在离散点上的 Zernike 多项式的表达 | 第27-29页 |
| 3．1．4 Zernike 多项式拟合的方向问题 | 第29页 |
| 3．2 非球面数学模型的建立 | 第29-30页 |
| 3．3 程序计算 | 第30-32页 |
| 3．4 程序正确性验证 | 第32-33页 |
| 3．5 干涉法实时检测浅度非球面及其位置的确定 | 第33-36页 |
| 3．6 小结 | 第36-37页 |
| 第四章 表面绝对检测理论及实验结果 | 第37-45页 |
| 4．1 球面绝对检测原理 | 第37-38页 |
| 4．2 实验描述与对比 | 第38-40页 |
| 4．3 误差来源及其控制 | 第40-42页 |
| 4．4 结合表面绝对测量技术对抛物镜进行多次重复测量 | 第42-44页 |
| 4．5 小结 | 第44-45页 |
| 第五章 非球面检测的实验验证 | 第45-48页 |
| 5．1 非球面检测的对比实验及其检测结果 | 第45-47页 |
| 5．2 小结 | 第47-48页 |
| 第六章 误差及精度分析 | 第48-52页 |
| 6．1 实验误差精度分析 | 第48-50页 |
| 6．2 实验分析与结论 | 第50页 |
| 6．3 小结 | 第50-52页 |
| 第七章 总结与展望 | 第52-53页 |
| 7．1 总结 | 第52页 |
| 7．2 展望 | 第52-53页 |
| 参考文献 | 第53-57页 |
| 附录1 ZERNIKE系数计算程序(抛物面) | 第57-64页 |
| 附录2 | 第64-65页 |
| 1、作者简介 | 第64页 |
| 2、在读期间发表的学术论文 | 第64-65页 |
| 致谢 | 第65页 |
