| 论文摘要 | 第1-8页 |
| ABSTRACT | 第8-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-22页 |
| §1.1 光谱仪器的发展与应用 | 第10-16页 |
| ·光谱仪器的发展 | 第11-12页 |
| ·现代光谱分析系统的分类 | 第12-14页 |
| ·光谱仪器的应用范围 | 第14-16页 |
| §1.2 本文工作的研究目的和意义 | 第16-20页 |
| ·课题的可行性及背景 | 第16-18页 |
| ·课题的意义、目的 | 第18页 |
| ·课题的创新点 | 第18-20页 |
| 参考文献: | 第20-22页 |
| 第二章:光谱分析的基本元件简介 | 第22-48页 |
| §2.1 衍射光栅的基本工作原理 | 第22-33页 |
| ·衍射光栅的发展史和分类 | 第22-23页 |
| ·反射衍射光栅基本方程: | 第23-24页 |
| ·衍射光栅的色散 | 第24-26页 |
| ·光谱线的级数 | 第26-27页 |
| ·闪耀光栅 | 第27-28页 |
| ·利托结构(Littrow Condition) | 第28页 |
| ·光栅效率 | 第28-29页 |
| ·杂散光 | 第29-30页 |
| ·光栅的高分辨及其相关问题 | 第30-33页 |
| §2.2 线阵面阵固体探测器 | 第33-38页 |
| ·基本原理 | 第33-36页 |
| ·前照式(Front Illminated)CCD: | 第36-37页 |
| ·背照式(Back Illminated)CCD: | 第37页 |
| ·修饰栅级(open Electrode)CCD: | 第37-38页 |
| §2.3 滤波元件的作用 | 第38-39页 |
| §2.4 实验光谱系统的基本结构 | 第39-46页 |
| ·Fastie-Ebert结构 | 第40页 |
| ·Czerny-Turner(C-T)结构 | 第40-41页 |
| ·数值孔径 | 第41-43页 |
| ·分辨率和带宽 | 第43-45页 |
| ·阵列探测器象数点位置与波长的关系 | 第45-46页 |
| 参考文献: | 第46-48页 |
| 第三章:新型面阵式CCD探测器型多光栅单色仪 | 第48-61页 |
| §3.1 引言 | 第48-49页 |
| §3.2 实验原理 | 第49-55页 |
| ·闪耀光栅 | 第49-50页 |
| ·CCD探测器 | 第50-51页 |
| ·光学系统 | 第51-55页 |
| §3.3 光谱仪实现与结果分析 | 第55-59页 |
| ·光谱测量 | 第55-56页 |
| ·光谱分析与信号处理 | 第56-59页 |
| §3.4 结论 | 第59-60页 |
| 参考文献: | 第60-61页 |
| 第四章:多光栅集成结构的高分辨快速红外光谱仪研究 | 第61-96页 |
| §4.1 研究背景 | 第61-67页 |
| ·DWDM技术简介 | 第61-64页 |
| ·高性能光学薄膜的制备 | 第64-67页 |
| §4.2 光学系统 | 第67-72页 |
| ·原理 | 第67-69页 |
| ·光学系统 | 第69-72页 |
| §4.3 数据采集 | 第72-79页 |
| ·多道探测器 | 第72-75页 |
| ·数据采集卡 | 第75-76页 |
| ·软件分析 | 第76-79页 |
| §4.4 结果与讨论 | 第79-93页 |
| ·谱线定标与谱线测量 | 第79-83页 |
| ·分辨本领与分析 | 第83-88页 |
| ·像差讨论 | 第88-93页 |
| §4.5 结论 | 第93-94页 |
| 参考文献: | 第94-96页 |
| 第五章:两种光谱仪在椭圆偏振和DWDM薄膜生长监控中的应用 | 第96-119页 |
| §5.1 CCD椭圆偏振光谱仪 | 第96-111页 |
| ·系统的光路及其控制结构 | 第96-101页 |
| ·系统的光路及其机械部分的建立 | 第101-109页 |
| ·系统的定标测量与讨论分析 | 第109-111页 |
| ·结论 | 第111页 |
| §5.2 实时监控镀膜仪 | 第111-117页 |
| ·原位光谱监控方法的薄膜生长系统 | 第112-113页 |
| ·AFDS-1100高性能薄膜生张系统 | 第113-115页 |
| ·薄膜生长的监控过程 | 第115-116页 |
| ·结论 | 第116-117页 |
| 参考文献: | 第117-119页 |
| 第六章:结论 | 第119-121页 |
| 附录一: | 第121-123页 |
| 附录二: | 第123-128页 |
| 附录三: | 第128-135页 |
| 致谢 | 第135-136页 |
