| 第一章 绪论 | 第1-21页 |
| 1-1 TiN的结构和性质 | 第9-11页 |
| 1-1-1 TiN的性质 | 第9页 |
| 1-1-2 TiN的结构特征 | 第9-10页 |
| 1-1-3 TiN的形成条件 | 第10-11页 |
| 1-2 TiN涂层的研究现状 | 第11-13页 |
| 1-2-1 TiN涂层的研究进展 | 第11-13页 |
| 1-3 反应等离子喷涂 | 第13-17页 |
| 1-3-1 反应等离子喷涂的原理与特点 | 第13页 |
| 1-3-2 反应等离子喷涂设备 | 第13-15页 |
| 1-3-3 反应等离子喷涂层的形成过程 | 第15页 |
| 1-3-4 反应等离子喷涂的应用 | 第15-17页 |
| 1-3-5 反应等离子喷涂层的结构特点 | 第17页 |
| 1-3-6 反应等离子喷涂的发展方向 | 第17页 |
| 1-4 纳米结构涂层 | 第17-18页 |
| 1-5 开题的依据和意义 | 第18-20页 |
| 1-5-1 开题的依据 | 第18-19页 |
| 1-5-2 本课题研究的意义 | 第19-20页 |
| 1-6 主要研究内容 | 第20-21页 |
| 第二章 试验设备及方法 | 第21-28页 |
| 2-1 反应等离子喷涂TiN涂层的装置与方法简介 | 第21-22页 |
| 2-2 反应等离子喷涂所用材料 | 第22-23页 |
| 2-3 涂层制备工艺 | 第23-24页 |
| 2-3-1 待喷涂试样的制备 | 第23页 |
| 2-3-2 喷涂工艺 | 第23-24页 |
| 2-4 样品的制备 | 第24页 |
| 2-4-1 涂层金相试样的制备过程 | 第24页 |
| 2-4-2 涂层断口试样的制备 | 第24页 |
| 2-4-3 透射电子显微镜(TEM)样品的制备 | 第24页 |
| 2-5 TiN涂层厚度的测量 | 第24-25页 |
| 2-6 TiN涂层显微硬度的测量 | 第25页 |
| 2-7 摩擦磨损试验 | 第25-26页 |
| 2-7-1 摩擦磨损试样的制备 | 第25页 |
| 2-7-2 试验过程 | 第25-26页 |
| 2-8 TiN涂层的表征方法 | 第26-28页 |
| 2-8-1 扫描电子显微镜(SEM) | 第26页 |
| 2-8-2 X-射线衍射仪(XRD) | 第26-27页 |
| 2-8-3 透射电子显微镜(TEM) | 第27-28页 |
| 第三章 反应等离子喷涂TiN涂层制备工艺的研究 | 第28-35页 |
| 前言 | 第28页 |
| 3-1 反应喷涂TiN涂层工艺参数的优化 | 第28-34页 |
| 3-1-1 试验方案设计 | 第28页 |
| 3-1-2 工艺参数对涂层结构的影响 | 第28-31页 |
| 3-1-3 喷涂距离及N_2气流量对沉积速率的影响 | 第31-33页 |
| 3-1-4 工艺参数对涂层显微硬度的影响 | 第33-34页 |
| 本章小结 | 第34-35页 |
| 第四章 反应等离子喷涂TiN涂层显微结构的研究 | 第35-48页 |
| 前言 | 第35页 |
| 4-1 反应喷涂TiN涂层的XRD研究 | 第35-36页 |
| 4-2 反应喷涂TiN涂层的SEM观察 | 第36-38页 |
| 4-2-1 TiN涂层的表面形貌 | 第36-37页 |
| 4-2-2 TiN涂层的横截面形貌 | 第37页 |
| 4-2-3 涂层中的微观缺陷 | 第37-38页 |
| 4-3 反应喷涂TiN涂层的TEM观察 | 第38-47页 |
| 4-3-1 TiN涂层的TEM像 | 第38-40页 |
| 4-3-2 TiN涂层颗粒的晶体学特征 | 第40-42页 |
| 4-3-3 TiN涂层内的晶体缺陷 | 第42-45页 |
| 4-3-4 TiN涂层的高分辨(HRTEM)观察 | 第45-47页 |
| 本章小结 | 第47-48页 |
| 第五章 基于显微硬度的TiN涂层的力学性能 | 第48-57页 |
| 前言 | 第48页 |
| 5-1 TiN涂层的横截面显微硬度 | 第48-53页 |
| 5-1-1 TiN涂层显微硬度与载荷的关系 | 第48-50页 |
| 5-1-2 TiN涂层的显微硬度压痕形貌 | 第50-53页 |
| 5-2 TiN涂层的韧性 | 第53-56页 |
| 5-2-1 TiN涂层断裂韧性的测定 | 第53-54页 |
| 5-2-2 TiN涂层的韧性与其它材料的对比 | 第54-55页 |
| 5-2-3 分形维数 | 第55-56页 |
| 本章小结 | 第56-57页 |
| 第六章 反应等离子喷涂TiN涂层摩擦磨损性能的研究 | 第57-68页 |
| 前言 | 第57页 |
| 6-1 TiN涂层的无润滑摩擦磨损特性 | 第57-59页 |
| 6-1-1 施加载荷对体积磨损量的影响 | 第57-58页 |
| 6-1-2 施加载荷对摩擦系数的影响 | 第58-59页 |
| 6-2 TiN涂层无润滑磨损机理分析 | 第59-64页 |
| 6-2-1 磨损表面分析 | 第59-61页 |
| 6-2-2 TiN涂层磨损机理分析 | 第61-63页 |
| 6-2-3 微观组织和晶粒尺寸对涂层耐磨性的影响 | 第63-64页 |
| 6-3 TiN涂层油润滑摩擦磨损特性 | 第64-67页 |
| 6-3-1 磨损体积与载荷的关系 | 第64-66页 |
| 6-3-2 摩擦系数与载荷的关系 | 第66-67页 |
| 本章小结 | 第67-68页 |
| 第七章 反应等离子喷涂纳米晶TiN涂层形成机理的研究 | 第68-81页 |
| 前言 | 第68页 |
| 7-1 喷涂过程中的反应热力学分析 | 第68-69页 |
| 7-2 反应等离子喷涂TiN沉积物分析 | 第69-71页 |
| 7-2-1 TiN沉积物获得 | 第69页 |
| 7-2-2 XRD分析 | 第69-70页 |
| 7-2-3 SEM分析 | 第70页 |
| 7-2-4 TEM研究 | 第70-71页 |
| 7-3 反应等离子喷涂TiN过程中纳米颗粒的形成 | 第71-77页 |
| 7-3-1 原始反应产物的XRD分析 | 第71-73页 |
| 7-3-2 原始反应产物的SEM分析 | 第73-74页 |
| 7-3-3 原始反应产物的TEM研究 | 第74页 |
| 7-3-4 原始反应产物的HRTEM研究 | 第74-77页 |
| 7-4 反应等离子喷涂TiN纳米晶形成机理的探讨 | 第77-80页 |
| 7-4-1 喷枪反应室的作用 | 第77-78页 |
| 7-4-2 纳米TiN涂层形成过程的模型 | 第78-80页 |
| 本章小结 | 第80-81页 |
| 第八章 结论与展望 | 第81-83页 |
| 参考文献 | 第83-89页 |
| 致谢 | 第89-90页 |
| 攻读硕士学位期间取得的科研成果 | 第90页 |
