| 摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-11页 |
| ·等离子体及其在工业中的应用 | 第9页 |
| ·直流脉冲等离子时间演化过程研究的意义及国内外现状 | 第9-10页 |
| ·本论文的主要内容 | 第10页 |
| ·本课题的研究难点和创新点 | 第10-11页 |
| 第2章 低温等离子体诊断技术 | 第11-18页 |
| ·低温等离子体诊断技术简述 | 第11页 |
| ·静电探针理论 | 第11-18页 |
| ·单探针理论 | 第12-14页 |
| ·双探针理论 | 第14-18页 |
| 第3章 脉冲等离子体诊断系统的硬件设计 | 第18-27页 |
| ·实验装置 | 第18页 |
| ·实验方法 | 第18-19页 |
| ·诊断系统的总体方案设计 | 第19-20页 |
| ·探针偏压扫描及相关电路设计 | 第20-23页 |
| ·探针预处理电路 | 第21-22页 |
| ·偏压扫描电路 | 第22-23页 |
| ·高速采集与存储模块设计 | 第23-27页 |
| ·主要芯片的选择 | 第24-25页 |
| ·模块的性能指标计算 | 第25页 |
| ·模块的工作方式 | 第25-27页 |
| 第4章 脉冲等离子体诊断系统的软件设计 | 第27-35页 |
| ·通信链路层协议 | 第27-29页 |
| ·下位机的主要程序模块 | 第29-32页 |
| ·上位机的软件设计 | 第32-35页 |
| 第5章 测试分析及讨论 | 第35-45页 |
| ·诊断系统测试效果 | 第35-37页 |
| ·探针电流波形的采样效果 | 第35-36页 |
| ·整体性能指标及清洗效果 | 第36-37页 |
| ·脉冲等离子体参数的总体演化过程 | 第37-39页 |
| ·电压对“窄脉冲”等离子体的影响 | 第39-40页 |
| ·气体类型对“稳态”等离子体的影响 | 第40-41页 |
| ·电压对“稳态”等离子体的影响 | 第41-43页 |
| ·“窄脉冲”等离子体和“稳态”等离子体中一些现象的讨论 | 第43-45页 |
| ·“窄脉冲”等离子体相关现象讨论 | 第43页 |
| ·“稳态”等离子体相关现象讨论 | 第43-45页 |
| 第6章 总结与展望 | 第45-47页 |
| ·总结 | 第45页 |
| ·问题与展望 | 第45-47页 |
| 参考文献 | 第47-50页 |
| 致谢 | 第50-51页 |
| 附录A 攻读学位期间所发表的学术论文目录 | 第51-52页 |
| 附录B 实物照片及主要电路原理图 | 第52-55页 |