离子注入与热扩散法制备光波导的研究
| 中文摘要 | 第1-11页 |
| ABSTRACT | 第11-15页 |
| 符号说明 | 第15-16页 |
| 第一章 绪论 | 第16-25页 |
| 参考文献 | 第22-25页 |
| 第二章 光波导理论简介 | 第25-39页 |
| ·光波导的结构类型 | 第26-28页 |
| ·光在理想平面介质光波导中的传播 | 第28-33页 |
| ·条形光波导理论 | 第33-38页 |
| 参考文献 | 第38-39页 |
| 第三章 实验方法 | 第39-51页 |
| ·离子注入技术简介 | 第40-41页 |
| ·光刻技术 | 第41-43页 |
| ·光波导耦合方法简介 | 第43-46页 |
| ·平面波导折射率的重构—反射计算法(RCM) | 第46-49页 |
| ·背散射/沟道分析技术 | 第49-50页 |
| 参考文献 | 第50-51页 |
| 第四章 氢离子注入砷酸钛氧钾平面及条形光波导 | 第51-70页 |
| ·氢离子注入KTA晶体平面光波导的特性研究 | 第52-63页 |
| ·氢离子注入KTA晶体条形光波导的制备及特性研究 | 第63-67页 |
| ·本章小结 | 第67-68页 |
| 参考文献 | 第68-70页 |
| 第五章 铜离子注入KTA晶体平面光波导的特性研究 | 第70-80页 |
| ·实验过程 | 第71页 |
| ·结果与讨论 | 第71-78页 |
| ·本章小结 | 第78-79页 |
| 参考文献 | 第79-80页 |
| 第六章 氦离子注入对钛扩散铌酸锂光波导的改性研究 | 第80-97页 |
| ·引言 | 第81-85页 |
| ·Ti:LiNbO_3平面光波导的暗模特性分析 | 第85-91页 |
| ·He离子注入对钛扩散铌酸锂光波导的改性 | 第91-95页 |
| ·本章小结 | 第95-96页 |
| 参考文献 | 第96-97页 |
| 第七章 总结 | 第97-100页 |
| ·主要结果 | 第98-99页 |
| ·主要创新点 | 第99-100页 |
| 致谢 | 第100-102页 |
| 学位论文评阅及答辩情况表 | 第102页 |
