| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 1 绪论 | 第9-25页 |
| ·引言 | 第9-11页 |
| ·MEMS材料力学性能测试方法国内外研究现状 | 第11-22页 |
| ·微拉伸法 | 第11-17页 |
| ·微梁弯曲法 | 第17-19页 |
| ·纳米压入法 | 第19-22页 |
| ·本文主要研究工作阐述 | 第22-25页 |
| ·本文内容安排 | 第23页 |
| ·课题来源 | 第23-25页 |
| 2 MEMS材料力学性能测试装置的总体方案 | 第25-31页 |
| ·引言 | 第25页 |
| ·MEMS材料力学性能测试装置简介 | 第25-29页 |
| ·试件夹持子系统 | 第25-26页 |
| ·精密定位/位移加载子系统 | 第26-28页 |
| ·载荷/位移测量子系统 | 第28-29页 |
| ·MEMS材料力学性能测试装置总体方案 | 第29-30页 |
| ·小结 | 第30-31页 |
| 3 柔性铰链研究 | 第31-41页 |
| ·研究背景 | 第31-34页 |
| ·柔性机构产生的历史背景 | 第31-32页 |
| ·柔性机构在众多领域中的应用 | 第32页 |
| ·柔性铰链 | 第32-34页 |
| ·柔性铰链的力学模型 | 第34-39页 |
| ·小结 | 第39-41页 |
| 4 纳米级精度位移加载机构的设计和性能研究 | 第41-67页 |
| ·引言 | 第41-46页 |
| ·纳米级精度位移加载机构的缩放率和性能分析 | 第46-58页 |
| ·理想位移缩放比 | 第46-48页 |
| ·桥式柔性铰链实际缩放比 | 第48-50页 |
| ·机构的静态刚度 | 第50-53页 |
| ·桥式两级柔性铰链机构弱截面处的最大应力σ_(max) | 第53-54页 |
| ·桥式两级柔性铰链位移缩放机构固有频率 | 第54-58页 |
| ·精密加载子系统设计 | 第58-60页 |
| ·微位移/加载机构有限元仿真 | 第60-66页 |
| ·小结 | 第66-67页 |
| 5 试件夹持子系统设计 | 第67-85页 |
| ·引言 | 第67页 |
| ·支撑机构结构分析 | 第67-73页 |
| ·机构的静态刚度 | 第69页 |
| ·机构弱截面处的最大应力σ_(max) | 第69-71页 |
| ·机构的固有频率 | 第71-73页 |
| ·试件夹持支撑机构设计 | 第73-74页 |
| ·试件夹持支撑机构有限元仿真 | 第74-77页 |
| ·试件夹持支撑机构的制作工艺 | 第77-83页 |
| ·体硅微机械加工技术(Bulk Micromachining) | 第77-79页 |
| ·表面微机械加工技术(Surface Micromachining) | 第79页 |
| ·LIGA技术 | 第79-80页 |
| ·器件制作工艺 | 第80-83页 |
| ·小结 | 第83-85页 |
| 6 结论与展望 | 第85-87页 |
| ·结论 | 第85-86页 |
| ·展望 | 第86-87页 |
| 参考文献 | 第87-91页 |
| 在学研究成果 | 第91-93页 |
| 致谢 | 第93页 |
