新型双级解耦微机械陀螺的电场及压电耦合特性研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 致谢 | 第7-11页 |
| 第一章 绪论 | 第11-20页 |
| ·微机电系统（MEMS）的概念和发展概况 | 第11-13页 |
| ·微机械陀螺的技术分类及发展概况 | 第13-15页 |
| ·微机械陀螺的动力学及多场耦合问题 | 第15-18页 |
| ·动力学 | 第15-17页 |
| ·多场耦合问题 | 第17-18页 |
| ·本文的主要内容 | 第18-20页 |
| 第二章 MEMS 动力学理论 | 第20-25页 |
| ·典型微驱动机构 | 第20-21页 |
| ·微驱动基本原理 | 第21-24页 |
| ·静电力驱动 | 第22-23页 |
| ·静电力的尺度效应 | 第23-24页 |
| ·本章小结 | 第24-25页 |
| 第三章 静电驱动 MEMS 动力学 | 第25-30页 |
| ·静电场基本理论 | 第25-27页 |
| ·梳妆电极结构驱动方式 | 第27-28页 |
| ·梳妆电极结构静电力 | 第28-29页 |
| ·本章小结 | 第29-30页 |
| 第四章 双级解耦微机械陀螺设计及其动力学分析 | 第30-44页 |
| ·新型 MEMS 的简介 | 第30-32页 |
| ·双级解耦微机械陀螺结构的初步设计 | 第30-31页 |
| ·驱动部分的结构设计 | 第31-32页 |
| ·静电场的软件分析 | 第32-40页 |
| ·单组梳齿分析 | 第32-36页 |
| ·双组梳齿分析 | 第36-40页 |
| ·移动梳齿在各位置的电势和静电力情况 | 第40-42页 |
| ·电势对静电力影响 | 第42-43页 |
| ·本章小结 | 第43-44页 |
| 第五章 静电驱动 MEMS 动力学分析 | 第44-49页 |
| ·系统动力学模型 | 第44-45页 |
| ·陀螺瞬态动力学分析概述 | 第45-48页 |
| ·建立模型及定义材料常数 | 第46-47页 |
| ·有限元网格的划分 | 第47-48页 |
| ·本章小结 | 第48-49页 |
| 第六章 耦合场分析 | 第49-58页 |
| ·耦合场概念 | 第49-50页 |
| ·耦合场分析定义 | 第49页 |
| ·耦合场分析类型 | 第49-50页 |
| ·耦合场分析方法 | 第50页 |
| ·MEMS 多能量场耦合分析理论 | 第50-53页 |
| ·新型微机械陀螺仪序贯耦合分析 | 第53-57页 |
| ·本章小结 | 第57-58页 |
| 第七章 总结与展望 | 第58-60页 |
| ·本文的主要工作小结 | 第58页 |
| ·进一步的研究工作展望 | 第58-60页 |
| 参考文献 | 第60-63页 |
| 硕士期间发表论文 | 第63-64页 |
