静电感应晶闸管的研制

摘要	第1-5页
Abstract	第5-8页
第一章 概论	第8-11页
·引言	第8-9页
·静电感应器件研究现状	第9-11页
第二章 静电感应晶闸管的作用机理	第11-20页
·静电感应晶闸管的典型结构	第11-14页
·I-V特性	第14-20页
·正向导通	第16-17页
·正向阻断	第17-20页
第三章 静电感应晶闸管负阻特性分析	第20-30页
·负阻现象基本描述	第20-21页
·电导调制效应	第21-22页
·空间电荷效应和复合效应	第22-25页
·载流子寿命变化	第25-28页
·结论	第28-30页
第四章 台面刻蚀和挖槽工艺	第30-45页
·台面刻蚀对器件I—V特性的影响	第30-33页
·沟槽刻蚀对器件特性I-V的影响	第33-35页
·刻蚀深度	第35-37页
·蚀液的配比	第37-41页
·艺顺序及分步刻槽法的提出	第41-45页
第五章 制造工艺和参数调节	第45-67页
·SITH的参数设计与选取	第45-54页
·沟道厚度	第45-50页
·沟道长度	第50-52页
·栅体厚度	第52页
·沟道宽度	第52-53页
·材料选取	第53-54页
·SITH的工艺设计及参数调节	第54-67页
·版图设计	第54-59页
·工艺流程及实验结果	第59-67页
第六章 结论	第67-69页
参考文献	第69-72页
致谢	第72页