| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-10页 |
| 1 绪论 | 第10-18页 |
| ·论文选题背景和课题来源 | 第10-11页 |
| ·硅片传输机器人的发展和研究现状 | 第11-14页 |
| ·硅片传输机器人的发展历史 | 第11-12页 |
| ·硅片传输机器人的研究现状 | 第12-13页 |
| ·硅片传输机器人的关键技术 | 第13-14页 |
| ·机器人手臂的运动学及动力学 | 第14-15页 |
| ·机器人手臂的运动学 | 第14页 |
| ·机器人手臂的动力学 | 第14-15页 |
| ·机械结构优化设计的发展和研究现状 | 第15-17页 |
| ·结构优化设计发展和研究现状 | 第15-16页 |
| ·机械结构优化设计发展和研究现状 | 第16-17页 |
| ·论文主要研究内容 | 第17页 |
| ·本章小结 | 第17-18页 |
| 2 硅片传输机器人手臂的运动学和动力学分析 | 第18-26页 |
| ·硅片传输机器人手臂的运动学分析 | 第18-23页 |
| ·径向直线伸缩(R向)运动分析 | 第18-19页 |
| ·径向直线伸缩(R向)运动学分析 | 第19-23页 |
| ·硅片传输机器人手臂的动力学分析 | 第23-25页 |
| ·本章小结 | 第25-26页 |
| 3 硅片传输机器人的动力学仿真 | 第26-41页 |
| ·虚拟样机技术 | 第26-28页 |
| ·虚拟样机技术的研究范围 | 第26-27页 |
| ·ADAMS软件仿真分析步骤 | 第27-28页 |
| ·硅片传输机器人虚拟样机模型的建立 | 第28-31页 |
| ·基于Pro-E环境的机器人实体模型建立 | 第28-29页 |
| ·基于MECHANISM/Pro环境的模型处理 | 第29-31页 |
| ·硅片传输机器人的运动学仿真 | 第31-36页 |
| ·基于ADAMS/View环境的运动学仿真模型建立 | 第31-32页 |
| ·基于ADAMS/View环境的运动学仿真分析 | 第32-36页 |
| ·硅片传输机器人的动力学仿真 | 第36-40页 |
| ·基于ADAMS/View环境的动力学仿真模型建立 | 第36-37页 |
| ·基于ADAMS/View环境的动力学仿真分析 | 第37-40页 |
| ·本章小结 | 第40-41页 |
| 4 硅片传输机器人手臂的模态分析 | 第41-59页 |
| ·模态分析 | 第41-43页 |
| ·计算模态分析和试验模态分析 | 第41-42页 |
| ·试验模态分析的基本过程 | 第42-43页 |
| ·模态分析的目标 | 第43页 |
| ·基于ANSYS环境的硅片传输机器人手臂模态分析 | 第43-47页 |
| ·有限元分析 | 第43-45页 |
| ·硅片传输机器人手臂有限元模型的建立 | 第45页 |
| ·硅片传输机器人手臂的模态分析 | 第45-47页 |
| ·硅片传输机器人手臂的试验模态分析 | 第47-58页 |
| ·动力学实验方案 | 第47-50页 |
| ·机器人手臂的动力学实验 | 第50-51页 |
| ·导纳圆模态参数识别方法 | 第51-55页 |
| ·基于Matlab的模态参数识别 | 第55-58页 |
| ·本章小结 | 第58-59页 |
| 5 硅片传输机器人末端执行器的结构优化 | 第59-68页 |
| ·末端执行器的拓扑结构优化设计 | 第59-63页 |
| ·末端执行器的初始设计 | 第59-60页 |
| ·末端执行器的拓扑结构优化设计 | 第60-61页 |
| ·末端执行器的拓扑结构优化结果分析 | 第61-63页 |
| ·优化后末端执行器的结构设计 | 第63页 |
| ·末端执行器的形状优化设计 | 第63-67页 |
| ·末端执行器的形状优化设计流程 | 第64页 |
| ·末端执行器的形状优化设计 | 第64-66页 |
| ·末端执行器的形状优化设计结果分析 | 第66-67页 |
| ·本章小结 | 第67-68页 |
| 结论 | 第68-70页 |
| 参考文献 | 第70-74页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第74-75页 |
| 致谢 | 第75-76页 |