| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-10页 |
| ·引言 | 第7页 |
| ·国内外现状 | 第7-8页 |
| ·本课题研究内容 | 第8-10页 |
| 第二章 DLC膜的概述 | 第10-15页 |
| ·DLC膜技术特点 | 第10页 |
| ·DLC膜的结构及特性 | 第10-12页 |
| ·类金刚石膜的成长机制 | 第12页 |
| ·常用制备方法 | 第12-15页 |
| 第三章 DLC膜制备 | 第15-28页 |
| ·工艺流程 | 第15页 |
| ·RF-PECVD技术原理概述 | 第15-21页 |
| ·基体前处理工艺 | 第21-22页 |
| ·过渡层设计 | 第22-23页 |
| ·DLC膜制备 | 第23-28页 |
| 第四章 薄膜的表面特性测试 | 第28-41页 |
| ·拉曼光谱分析(RAMAN) | 第28-30页 |
| ·X射线光电子谱分析(XPS) | 第30-33页 |
| ·薄膜表面形貌分析 | 第33-35页 |
| ·摩擦和磨损结果测试 | 第35-41页 |
| 第五章 涂层结合力分析 | 第41-52页 |
| ·涂层的结合力分析 | 第41-45页 |
| ·涂层的纳米压痕分析 | 第45-50页 |
| ·耐腐蚀性测试 | 第50-52页 |
| 第六章 结论 | 第52-53页 |
| 参考文献 | 第53-55页 |
| 致谢 | 第55-56页 |
| 硕士期间发表的文章 | 第56页 |