| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 目录 | 第6-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-12页 |
| ·简介 | 第8页 |
| ·国内外研究概况 | 第8-11页 |
| ·国外研究现状及发展趋势 | 第8-10页 |
| ·国内研究现状 | 第10-11页 |
| ·本文的主要研究内容 | 第11-12页 |
| 第二章 金刚石超精密车削技术 | 第12-35页 |
| ·引言 | 第12-15页 |
| ·超精密加工方法 | 第15-16页 |
| ·超精密加工机床 | 第16-19页 |
| ·国外超精密机床的发展情况 | 第16-19页 |
| ·我国超精密机床的发展情况 | 第19页 |
| ·影响超精密加工技术的主要因素 | 第19-26页 |
| ·加工工具 | 第19-23页 |
| ·加工设备 | 第23-24页 |
| ·被加工材料 | 第24-25页 |
| ·检测技术与误差补偿 | 第25-26页 |
| ·环境条件 | 第26页 |
| ·衍射光学元件的金刚石车削加工 | 第26-35页 |
| ·衍射光学元件的描述 | 第27-28页 |
| ·衍射光学元件的加工技术 | 第28-35页 |
| ·标准二元光学元件的加工技术 | 第29-30页 |
| ·变灰度掩模版法 | 第30-31页 |
| ·连续浮雕面形直写加工技术 | 第31-35页 |
| 第三章 金刚石刀具 | 第35-42页 |
| ·引言 | 第35页 |
| ·金刚石的现状 | 第35-36页 |
| ·金刚石刀具的分类及比较 | 第36-40页 |
| ·单晶金刚石刀具 | 第37-38页 |
| ·聚晶金刚石(PCD)刀具 | 第38页 |
| ·化学气相沉积(CVD)刀具 | 第38-40页 |
| ·提高金刚石刀具寿命的措施 | 第40-42页 |
| 第四章 单点金刚石车削加工衍射光学元件工艺参数研究 | 第42-53页 |
| ·引言 | 第42-43页 |
| ·衍射光学元件微结构的遮挡效应 | 第43-44页 |
| ·金刚石车削加工工艺参数的选择 | 第44-45页 |
| ·刀具刀尖半径形状对加工表面粗糙度的影响 | 第45-46页 |
| ·采用球形刀尖刀具 | 第45页 |
| ·采用半球形刀尖刀具 | 第45-46页 |
| ·衍射光学元件表面散射与刀尖半径和进给量的关系 | 第46-53页 |
| ·散射与刀尖半径和进给量的关系 | 第46-48页 |
| ·采用球形刀具 | 第48-50页 |
| ·采用半球形刀具 | 第50-53页 |
| 第五章 结论 | 第53-54页 |
| 致谢 | 第54-55页 |
| 参考文献 | 第55-56页 |