| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-15页 |
| ·三坐标测头 | 第8-12页 |
| ·本课题的研究内容 | 第12-15页 |
| 第二章 测量原理分析 | 第15-21页 |
| ·动态主动调焦法共焦测头的测量原理 | 第15-17页 |
| ·时间差法及时间差检测误差对测量精度的影响 | 第17-19页 |
| ·振动参数的波动对测量精度的影响 | 第19-21页 |
| 第三章 硬件电路设计 | 第21-37页 |
| ·音叉自起振与稳幅控制电路 | 第21-33页 |
| ·音叉激振原理 | 第21-23页 |
| ·音叉自起振电路 | 第23-25页 |
| ·音叉稳幅控制电路 | 第25-33页 |
| ·光电信号处理电路 | 第33-37页 |
| 第四章 音叉稳幅控制和时间差检测的FPGA 程序设计 | 第37-56页 |
| ·音叉稳幅控制的FPGA 程序设计 | 第37-46页 |
| ·音叉稳幅控制方法分析与子模块的划分 | 第37-38页 |
| ·各个子模块的设计 | 第38-46页 |
| ·时间差检测的FPGA 程序设计 | 第46-56页 |
| ·时间差检测算法分析与子模块的划分 | 第46-51页 |
| ·各个子模块的设计 | 第51-56页 |
| 第五章 实验与误差分析 | 第56-70页 |
| ·音叉振动实验 | 第56-62页 |
| ·音叉振动频率的测定实验 | 第56-58页 |
| ·音叉振幅的标定实验 | 第58-59页 |
| ·音叉振幅稳定性实验 | 第59-62页 |
| ·测量精度实验 | 第62-67页 |
| ·测量不确定度实验 | 第62-64页 |
| ·测量重复性实验 | 第64-67页 |
| ·斜面测量实验 | 第67-69页 |
| ·测头测量稳定性实验 | 第69-70页 |
| 第六章 总结与展望 | 第70-72页 |
| ·主要工作总结 | 第70页 |
| ·技术展望 | 第70-72页 |
| 参考文献 | 第72-74页 |
| 发表论文和参加科研情况说明 | 第74-75页 |
| 致谢 | 第75页 |