| 中文摘要 | 第1-4页 |
| 英文摘要 | 第4-8页 |
| 1 绪论 | 第8-18页 |
| ·引言 | 第8页 |
| ·薄膜体声波生化传感器国内外研究现状 | 第8-16页 |
| ·本论文研究目的及主要研究内容 | 第16-17页 |
| ·本章小结 | 第17-18页 |
| 2 具有声能补偿功能的薄膜体声波生化传感器工作原理 | 第18-28页 |
| ·引言 | 第18页 |
| ·具有声能补偿功能的薄膜体声波生化传感器的结构 | 第18-19页 |
| ·具有声能补偿功能的薄膜体声波生化传感器的理论模型及分析 | 第19-27页 |
| ·传感器典型结构一的理论模型及分析 | 第19-24页 |
| ·传感器典型结构二的理论模型及分析 | 第24-27页 |
| ·本章小结 | 第27-28页 |
| 3 薄膜体声波生化传感器的结构与版图设计 | 第28-45页 |
| ·引言 | 第28页 |
| ·结构设计 | 第28-39页 |
| ·传感器有限元模型的建立 | 第28-31页 |
| ·结构参数对传感器性能的影响 | 第31-36页 |
| ·通过电极交错排布实现厚度剪切模式振动 | 第36-39页 |
| ·版图设计 | 第39-44页 |
| ·总体布局与图层设计 | 第39页 |
| ·传感器形状与横向尺寸设计 | 第39-42页 |
| ·其他因素 | 第42-43页 |
| ·版图 | 第43-44页 |
| ·本章小结 | 第44-45页 |
| 4 薄膜体声波生化传感器加工工艺与性能测试 | 第45-60页 |
| ·引言 | 第45页 |
| ·薄膜体声波生化传感器的材料与工艺 | 第45-48页 |
| ·压电薄膜材料 | 第45-47页 |
| ·电极与衬底材料 | 第47页 |
| ·压电薄膜的制备技术 | 第47-48页 |
| ·工艺设计 | 第48-49页 |
| ·器件加工 | 第49-53页 |
| ·传感器性能测试 | 第53-59页 |
| ·ZnO 压电薄膜的晶向分析 | 第53-54页 |
| ·划片与封装 | 第54-56页 |
| ·器件性能测试 | 第56-59页 |
| ·本章小结 | 第59-60页 |
| 5 总结与展望 | 第60-61页 |
| ·主要结论 | 第60页 |
| ·存在的问题及下一步的主要研究工作 | 第60-61页 |
| 致谢 | 第61-62页 |
| 参考文献 | 第62-66页 |
| 附录 | 第66页 |