音叉式石英微陀螺CMOS集成检测电路设计
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 第1章 绪论 | 第10-15页 |
| ·课题背景 | 第10页 |
| ·石英微机械陀螺的发展与应用 | 第10-12页 |
| ·石英微机械陀螺的发展现状 | 第10-11页 |
| ·微机械陀螺的应用 | 第11-12页 |
| ·微机械陀螺检测电路的研究现状 | 第12-13页 |
| ·本课题研究的目的和意义 | 第13-14页 |
| ·本课题主要研究内容 | 第14-15页 |
| 第2章 音叉式石英微陀螺及检测电路原理 | 第15-24页 |
| ·音叉式石英微陀螺的特点及优势 | 第15页 |
| ·音叉式石英微陀螺的工作原理 | 第15-18页 |
| ·Coriolis 效应 | 第16-17页 |
| ·悬梁耦合 | 第17-18页 |
| ·压电效应 | 第18页 |
| ·音叉式石英微陀螺检测电路工作原理 | 第18-22页 |
| ·石英陀螺等效电路 | 第18-19页 |
| ·检测电路工作原理 | 第19-22页 |
| ·相关解调原理 | 第22页 |
| ·本章小结 | 第22-24页 |
| 第3章 音叉式石英微陀螺检测电路设计 | 第24-40页 |
| ·检测电路的设计 | 第25-30页 |
| ·低噪声输入级电路设计 | 第25-27页 |
| ·高增益放大级电路设计 | 第27-29页 |
| ·满摆幅输出级电路设计 | 第29-30页 |
| ·检测电路偏置电路设计 | 第30-33页 |
| ·带启动电路的自举基准电流源 | 第30-32页 |
| ·整体偏置电路设计 | 第32-33页 |
| ·频率补偿 | 第33-36页 |
| ·整体检测电路设计 | 第36-37页 |
| ·后级解调电路设计 | 第37-39页 |
| ·本章小结 | 第39-40页 |
| 第4章 检测电路的仿真与分析 | 第40-47页 |
| ·检测电路性能的仿真与分析 | 第40-44页 |
| ·开环增益、相位裕度及增益带宽积 | 第40-41页 |
| ·转换速率(SR) | 第41页 |
| ·输入共模范围 | 第41-42页 |
| ·输出摆幅 | 第42-43页 |
| ·电源抑制比(PSRR) | 第43页 |
| ·输出噪声 | 第43-44页 |
| ·检测电路信号的仿真与分析 | 第44-45页 |
| ·解调电路及输出信号的仿真与分析 | 第45-46页 |
| ·本章小结 | 第46-47页 |
| 第5章 版图设计与验证 | 第47-56页 |
| ·版图设计规则 | 第47页 |
| ·版图设计技术 | 第47-51页 |
| ·版图的匹配设计 | 第48-49页 |
| ·版图的可靠性设计 | 第49-50页 |
| ·器件形状、结构和布局对性能的影响 | 第50-51页 |
| ·版图的设计与验证 | 第51-55页 |
| ·检测电路主体部分版图设计 | 第51-53页 |
| ·自举基准电流源偏置电路版图设计 | 第53页 |
| ·检测电路整体版图设计 | 第53-54页 |
| ·检测电路版图的验证 | 第54-55页 |
| ·本章小结 | 第55-56页 |
| 结论 | 第56-57页 |
| 参考文献 | 第57-61页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文 | 第61-62页 |
| 致谢 | 第62页 |
