| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-10页 |
| ·研究背景和意义 | 第7-8页 |
| ·本课题来源 | 第8页 |
| ·本课题研究主要目的和意义 | 第8页 |
| ·本论文主要研究内容 | 第8-10页 |
| 第二章 超精密加工机床的振动 | 第10-18页 |
| ·超精密加工机床的发展及其现状 | 第10-11页 |
| ·环境振动 | 第11-12页 |
| ·超精密加工机床允许振动 | 第12页 |
| ·超精密加工机床自身振动 | 第12-14页 |
| ·超精密加工机床隔振原理 | 第14-16页 |
| ·测量振动的方式 | 第16-18页 |
| 第三章 常见的超精加工机床振动信号分析处理方法 | 第18-26页 |
| ·时域分析及其特点 | 第18页 |
| ·频域分析及其特点 | 第18-19页 |
| ·时频分析及其特点 | 第19页 |
| ·小波分析 | 第19-23页 |
| ·多分辨率分析 | 第23-26页 |
| 第四章 光纤振动传感器的理论基础 | 第26-33页 |
| ·传感器与光纤 | 第26-27页 |
| ·光纤的基本概念和特点 | 第27-28页 |
| ·光纤传感器原理 | 第28-33页 |
| 第五章 光纤微振动传感器系统设计 | 第33-49页 |
| ·交叉光纤干涉系统的设计 | 第33-35页 |
| ·激光光源的设计 | 第35-38页 |
| ·PSD光接收电路 | 第38-41页 |
| ·前置放大电路的设计 | 第41-43页 |
| ·A/D转换 | 第43-45页 |
| ·系统反馈环路 | 第45-49页 |
| 第六章 小波分析理论在超精加工机床振动信号分析中的应用 | 第49-55页 |
| 总结 | 第55-56页 |
| 致谢 | 第56-57页 |
| 参考文献 | 第57-58页 |