| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-17页 |
| 1.1 等离子体概论 | 第9-12页 |
| 1.1.1 等离子体概念与发展 | 第9-10页 |
| 1.1.2 等离子体的分类 | 第10-11页 |
| 1.1.3 等离子体的应用 | 第11-12页 |
| 1.2 等离子体的产生方式 | 第12-14页 |
| 1.2.1 直流放电等离子体 | 第12-13页 |
| 1.2.2 射频感应耦合等离子体 | 第13-14页 |
| 1.3 等离子体诊断技术 | 第14-16页 |
| 1.3.1 探针法 | 第14-15页 |
| 1.3.2 发射光谱法 | 第15-16页 |
| 1.4 本文研究意义与目的 | 第16-17页 |
| 第2章 射频感应耦合等离子体E-H模的转换 | 第17-27页 |
| 2.1 引言 | 第17-18页 |
| 2.2 射频感应耦合等离子体装置搭建 | 第18-20页 |
| 2.2.1 ICP放电装置搭建 | 第18-19页 |
| 2.2.2 ICP诊断系统 | 第19-20页 |
| 2.3 射频感应耦合等离子体E-H模光谱诊断 | 第20-26页 |
| 2.3.1 放电气压对E-H转换功率的影响 | 第20-22页 |
| 2.3.2 不同的气体组分对E-H转换功率的影响 | 第22-24页 |
| 2.3.3 气体流率对E-H转换功率的影响 | 第24-26页 |
| 2.4 小结 | 第26-27页 |
| 第3章 细管直流放电等离子体实验及测量诊断系统的装置设计与搭建 | 第27-35页 |
| 3.1 引言 | 第27页 |
| 3.2 细管直流放电实验及测量诊断系统的装置设计 | 第27-31页 |
| 3.2.1 直流辉光放电 | 第29-31页 |
| 3.2.2 辉光条纹现象 | 第31页 |
| 3.3 直流放电等离子体诊断系统 | 第31-33页 |
| 3.3.1 朗缪尔探针诊断 | 第31-33页 |
| 3.3.2 光谱诊断系统 | 第33页 |
| 3.4 本章小结 | 第33-35页 |
| 第4章 细管直流放电等离子体的放电实验 | 第35-47页 |
| 4.1 引言 | 第35页 |
| 4.2 放电介质与功率的影响 | 第35-39页 |
| 4.2.1 放电气压对等离子体参数及光谱强度的影响 | 第36-37页 |
| 4.2.2 放电功率对等离子体参数及光谱强度的影响 | 第37-39页 |
| 4.3 放电结构因素的影响 | 第39-42页 |
| 4.3.1 电极距离对等离子体参数及光谱强度的影响 | 第39-40页 |
| 4.3.2 阴极数目对等离子体参数及光谱强度的影响 | 第40-42页 |
| 4.4 分段式放电实验 | 第42-44页 |
| 4.4.1 分段放电方法设计 | 第42-43页 |
| 4.4.2 分段式放电与单独闭合放电的比较 | 第43-44页 |
| 4.5 本章小结 | 第44-47页 |
| 第5章 基于COMSOL的直流放电等离子体模拟 | 第47-61页 |
| 5.1 引言 | 第47页 |
| 5.2 等离子体模拟方式 | 第47-48页 |
| 5.3 直流放电等离子体模型 | 第48-51页 |
| 5.4 模拟结果分析 | 第51-59页 |
| 5.4.1 对不同的放电距离进行模拟 | 第51-53页 |
| 5.4.2 对不同的放电面积进行模拟 | 第53-55页 |
| 5.4.3 对不同的放电电压进行模拟 | 第55-57页 |
| 5.4.4 对不同放电气压进行模拟 | 第57-59页 |
| 5.5 本章小节 | 第59-61页 |
| 结论与展望 | 第61-63页 |
| 参考文献 | 第63-69页 |
| 攻读硕士学位期间所获得学术论文 | 第69-71页 |
| 致谢 | 第71页 |
