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Fe-Ga-(X)磁伸薄膜IBSD法制备及性能调控研究

摘要第3-4页
Abstract第4-5页
第一章 绪论第8-21页
    1.1 磁致伸缩概述第8-11页
        1.1.1 磁致伸缩效应第8-9页
        1.1.2 磁致伸缩产生机理及其唯象理论第9-10页
        1.1.3 磁致伸缩的量子理论第10-11页
    1.2 磁致伸缩材料的简介第11-14页
        1.2.1 磁致伸缩材料的发展过程第11-12页
        1.2.2 磁致伸缩材料的分类第12-13页
        1.2.3 磁致伸缩材料的应用第13-14页
    1.3 新型Fe-Ga系磁致伸缩材料的研究进展第14-19页
        1.3.1 Fe-Ga系磁致伸缩块体材料的发展状况第15-18页
        1.3.2 Fe-Ga系磁致伸缩薄膜材料的发展状况第18-19页
    1.4 本实验研究的目的、意义、内容及创新点第19-21页
第二章 实验研究方法第21-30页
    2.1 靶材的选择第21页
    2.2 衬底的选择与处理第21-22页
        2.2.1 衬底的选择第21页
        2.2.2 衬底的预处理第21-22页
    2.3 薄膜的制备第22-25页
        2.3.1 离子束溅射沉积法的原理第22-23页
        2.3.2 稳恒磁场发生器第23-24页
        2.3.3 薄膜的制备第24-25页
    2.4 薄膜厚度与沉积速率计算第25页
    2.5 薄膜的真空退火处理第25-26页
    2.6 薄膜成分、结构以及杨氏模量的测试第26-27页
        2.6.1 薄膜成分测试第26页
        2.6.2 薄膜表面形貌观测第26页
        2.6.3 薄膜XRD测试第26页
        2.6.4 薄膜磁畴结构观测第26-27页
        2.6.5 薄膜杨氏模量的测试第27页
    2.7 薄膜磁性能的测定第27-30页
        2.7.1 软磁性能的测定第27页
        2.7.2 静态磁伸性能的测定第27-28页
        2.7.3 动态振动幅-频特性测试第28-30页
第三章 Fe-Ga与Fe-Ga-TbMF表面形貌、微结构、成分、磁畴结构与杨氏模量分析第30-37页
    3.1 薄膜的沉积速率及厚度第30页
    3.2 薄膜的XRD分析第30-31页
    3.3 Fe-Ga-(X)MF表面形貌、成分分析第31-32页
    3.4 薄膜的磁畴结构分析第32-35页
    3.5 薄膜的杨氏模量Ef分析第35-36页
    3.6 本章小结第36-37页
第四章 稳恒磁场环境下Fe-Ga-(X)MF的制备及性能研究第37-45页
    4.1 成膜时外加稳恒磁场对Fe-Ga-(X)MF软磁性能的影响第37-40页
    4.2 成膜时外加稳恒磁场对Fe-Ga(X) MF静态磁致伸缩性能的影响第40-42页
    4.3 成膜时外加稳恒磁场对Fe-Ga-(X) MF动态振动幅-频特性的影响第42-44页
    4.4 本章小结第44-45页
第五章 真空退火对稳恒磁场环境下制备的Fe-Ga-(X) MF性能的影响第45-56页
    5.1 真空退火对稳恒磁场环境下制备的Fe-Ga-(X)MF软磁性能的影响第45-49页
    5.2 真空退火对稳恒磁场环境下制备的Fe-Ga-(X) MF静态磁致伸缩性能的影响第49-53页
    5.3 真空退火对稳恒磁场环境下制备的Fe-Ga-(X) MF动态振动幅-频特性的影响第53-55页
    5.4 本章小结第55-56页
第六章 Fe-Ga-Tb MF与Fe-Ga MF磁性能的对比第56-61页
    6.1 Fe-Ga-Tb MF与Fe-Ga MF软磁性能的对比第56-57页
    6.2 Fe-Ga-Tb MF与Fe-Ga MF的静态磁致伸缩性能对比第57-59页
    6.3 Fe-Ga-Tb MF与Fe-Ga MF动态振动幅-频特性的对比第59页
    6.4 本章小结第59-61页
结论第61-63页
参考文献第63-68页
致谢第68-69页
个人简历第69-70页
在学期间研究成果及发表的学术论文第70页

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