基于EtherCAT的往复式柱塞气体流量标准装置及其控制研究
| 致谢 | 第5-6页 |
| 摘要 | 第6-7页 |
| abstract | 第7页 |
| 1 绪论 | 第13-22页 |
| 1.1 引言 | 第13-14页 |
| 1.2 气体流量标准装置研究现状 | 第14-18页 |
| 1.2.1 钟罩式气体流量标准装置 | 第14-15页 |
| 1.2.2 pVTt法气体流量标准装置 | 第15页 |
| 1.2.3 标准表法气体流量标准装置 | 第15-16页 |
| 1.2.4 活塞式气体流量标准装置 | 第16-18页 |
| 1.3 临界流流量计 | 第18-19页 |
| 1.4 国内外工业以太网发展现状 | 第19-20页 |
| 1.5 本课题研究内容 | 第20-22页 |
| 2 总体设计 | 第22-39页 |
| 2.1 技术指标 | 第22页 |
| 2.2 工作原理 | 第22-25页 |
| 2.2.1 单缸模式 | 第23页 |
| 2.2.2 双缸并联模式 | 第23-24页 |
| 2.2.3 双缸串联模式 | 第24-25页 |
| 2.3 机械设计 | 第25-28页 |
| 2.3.1 结构方案选择 | 第25页 |
| 2.3.2 柱塞方案确定 | 第25页 |
| 2.3.3 主要部件设计与选型 | 第25-28页 |
| 2.4 控制系统设计 | 第28-35页 |
| 2.4.1 EtherCAT | 第28-29页 |
| 2.4.2 电控系统设计 | 第29-30页 |
| 2.4.3 耦合器及IO模块选型 | 第30-31页 |
| 2.4.4 伺服驱动器及电机选型 | 第31-35页 |
| 2.5 检定数学模型 | 第35-38页 |
| 2.6 本章小结 | 第38-39页 |
| 3 软件设计 | 第39-50页 |
| 3.1 下位机软件 | 第39-44页 |
| 3.1.1 单轴运行控制流程 | 第41-42页 |
| 3.1.2 双缸并联运行控制程序流程 | 第42-43页 |
| 3.1.3 双缸串联运行控制程序流程 | 第43-44页 |
| 3.2 上位机软件 | 第44-47页 |
| 3.2.1 手动控制模块 | 第44-45页 |
| 3.2.2 过程数据模块 | 第45-46页 |
| 3.2.3 测试模块 | 第46-47页 |
| 3.3 ADS通讯 | 第47-49页 |
| 3.4 本章小结 | 第49-50页 |
| 4 实验研究 | 第50-64页 |
| 4.1 气密性测试 | 第50-51页 |
| 4.2 运行实验 | 第51-61页 |
| 4.2.1 单缸试验 | 第51-54页 |
| 4.2.2 双缸并联试验 | 第54-58页 |
| 4.2.3 双缸串联实验 | 第58-60页 |
| 4.2.4 运行实验小结 | 第60-61页 |
| 4.3 重复性实验 | 第61-62页 |
| 4.4 对比试验 | 第62-63页 |
| 4.5 本章小结 | 第63-64页 |
| 5 总结与展望 | 第64-66页 |
| 5.1 研究工作总结 | 第64页 |
| 5.2 课题创新点 | 第64-65页 |
| 5.3 研究展望 | 第65-66页 |
| 参考文献 | 第66-70页 |
| 附录 | 第70-71页 |
| 作者简介 | 第71页 |
