| 摘要 | 第2-3页 |
| Abstract | 第3-4页 |
| 1 绪论 | 第6-11页 |
| 1.1 等离子体的基本概念 | 第6页 |
| 1.2 常见的低温等离子体源 | 第6-11页 |
| 1.2.1 容性耦合等离子体源(CCP) | 第6-8页 |
| 1.2.2 感性耦合等离子体源(ICP) | 第8-9页 |
| 1.2.3 电子回旋共振等离子体源(ECR) | 第9-11页 |
| 2 等离子体实验诊断方法综述 | 第11-16页 |
| 2.1 探针诊断技术 | 第11-13页 |
| 2.1.1 单探针 | 第11-12页 |
| 2.1.2 双探针 | 第12-13页 |
| 2.2 光谱诊断技术 | 第13-16页 |
| 2.2.1 吸收光谱法 | 第13-14页 |
| 2.2.2 发射光谱法 | 第14-16页 |
| 3 脉冲调制等离子体研究进展综述 | 第16-20页 |
| 4 实验装置介绍 | 第20-22页 |
| 4.1 CCP等离子体产生装置 | 第20-21页 |
| 4.2 相分辨发射光谱诊断(PROES) | 第21-22页 |
| 5 实验结果与讨论 | 第22-45页 |
| 5.1 放电条件对脉冲周期尺度下等离子体发光的影响 | 第23-30页 |
| 5.2 放电条件对射频尺度下电子激发速率的影响 | 第30-34页 |
| 5.3 脉冲初期电子加热模式的转换 | 第34-42页 |
| 5.4 驱动电极上自偏压的变化 | 第42-45页 |
| 结论 | 第45-47页 |
| 参考文献 | 第47-50页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第50-51页 |
| 致谢 | 第51-53页 |