| 摘要 | 第5-6页 |
| abstract | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-15页 |
| 1.1 研究背景 | 第10-11页 |
| 1.2 光波导传感器与紫外传感器的发展现状 | 第11-13页 |
| 1.2.1 光波导传感器发展现状 | 第11-13页 |
| 1.2.2 紫外传感器发展现状 | 第13页 |
| 1.3 本文的研究目标和主要内容 | 第13-15页 |
| 第二章 马赫-曾德尔干涉仪理论基础 | 第15-24页 |
| 2.1 波导理论分析 | 第15-21页 |
| 2.1.1 平板波导理论分析 | 第15-18页 |
| 2.1.2 矩形波导理论分析 | 第18-21页 |
| 2.2 马赫-曾德尔干涉仪结构与原理 | 第21-23页 |
| 2.2.1 马赫-曾德尔干涉仪结构 | 第21页 |
| 2.2.2 马赫-曾德尔干涉仪原理 | 第21-23页 |
| 2.3 本章小结 | 第23-24页 |
| 第三章 器件仿真与设计 | 第24-34页 |
| 3.1 矩形波导设计 | 第24-25页 |
| 3.1.1 波导尺寸设计 | 第24-25页 |
| 3.2 传感器的工作原理 | 第25-31页 |
| 3.2.1 消逝场原理 | 第25页 |
| 3.2.2 灵敏度仿真 | 第25-31页 |
| 3.3 马赫-曾德尔干涉仪波导传感器的结构参数设计 | 第31-33页 |
| 3.3.1 Y分支弯曲损耗分析 | 第31页 |
| 3.3.2 双模Y分支原理分析 | 第31-33页 |
| 3.4 本章小结 | 第33-34页 |
| 第四章 紫外敏感材料的制备与器件制作 | 第34-45页 |
| 4.1 紫外敏感材料特性分析 | 第34-35页 |
| 4.2 紫外敏感材料折射率测量与调节 | 第35-37页 |
| 4.2.1 棱镜耦合仪原理简介 | 第35-36页 |
| 4.2.2 紫外敏感材料折射率随曝光时间的变化 | 第36-37页 |
| 4.3 器件制作工艺流程设计 | 第37-39页 |
| 4.4 掩膜版设计 | 第39-40页 |
| 4.5 马赫-曾德尔干涉仪光波导传感器制作 | 第40-43页 |
| 4.5.1 芯层薄膜厚度参数测试 | 第40-41页 |
| 4.5.2 芯层波导制作 | 第41页 |
| 4.5.3 上包层薄膜厚度参数测试 | 第41-42页 |
| 4.5.4 上包层传感窗口制作 | 第42-43页 |
| 4.6 本章小结 | 第43-45页 |
| 第五章 传感器测试与分析 | 第45-54页 |
| 5.1 传感器近场输出光测试 | 第45-46页 |
| 5.2 传感器灵敏度测试 | 第46-49页 |
| 5.3 设计及测试方案优化 | 第49-52页 |
| 5.4 马赫-曾德尔干涉仪损耗测试 | 第52-53页 |
| 5.5 本章小结 | 第53-54页 |
| 第六章 总结与展望 | 第54-56页 |
| 6.1 总结 | 第54-55页 |
| 6.2 展望 | 第55-56页 |
| 致谢 | 第56-57页 |
| 参考文献 | 第57-60页 |
| 攻读硕士学位期间取得的成果 | 第60页 |