| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-8页 |
| 物理量名称及符号表 | 第14-15页 |
| 第1章 绪论 | 第15-23页 |
| 1.1 研究背景及意义 | 第15-17页 |
| 1.2 镀/涂层材料性质检测现状 | 第17-21页 |
| 1.2.1 谐振频谱法 | 第17页 |
| 1.2.2 纳米压痕法 | 第17-18页 |
| 1.2.3 拉伸实验法 | 第18页 |
| 1.2.4 弯曲实验法 | 第18-19页 |
| 1.2.5 超声测量法 | 第19-21页 |
| 1.3 主要研究内容 | 第21-23页 |
| 第2章 超声显微测量系统的基本理论 | 第23-37页 |
| 2.1 波动行为的理论建模 | 第23-28页 |
| 2.1.1 半无限域各向异性材料的表面波 | 第25页 |
| 2.1.2 各向同性薄板中的兰姆波 | 第25-26页 |
| 2.1.3 半无限域各向同性材料的表面波 | 第26-27页 |
| 2.1.4 半无限域各向同性材料镀层结构中的类表面波 | 第27-28页 |
| 2.2 传统超声显微镜的V(z)曲线理论 | 第28-32页 |
| 2.2.1 V(z)曲线的基本理论 | 第28-30页 |
| 2.2.2 V(z)曲线的周期性分析 | 第30-31页 |
| 2.2.3 V(z)曲线在多模态波速测量中的应用 | 第31-32页 |
| 2.3 表面波波速的测量方法——时分法 | 第32-33页 |
| 2.4 多模态波速的测量方法——V(f,z)分析法 | 第33-35页 |
| 2.5 本章小结 | 第35-37页 |
| 第3章 无透镜声场中的V(z)曲线理论 | 第37-51页 |
| 3.1 基于Rayleigh-Sommerfeld衍射的聚焦声场研究 | 第38-41页 |
| 3.2 聚焦面声场的角谱分析 | 第41-42页 |
| 3.3 角谱分量的谐波响应 | 第42-44页 |
| 3.4 半无限域液-固界面的反射系数 | 第44-46页 |
| 3.5 无透镜聚焦声场中的V(z)曲线分析 | 第46-49页 |
| 3.6 本章小结 | 第49-51页 |
| 第4章 聚焦式换能器的研制 | 第51-67页 |
| 4.1 线聚焦式PVDF超声换能器的研制 | 第52-55页 |
| 4.1.1 线聚焦PVDF超声换能器的优化设计 | 第52-53页 |
| 4.1.2 线聚焦PVDF超声换能器的工艺制程 | 第53-54页 |
| 4.1.3 线聚焦PVDF超声换能器的性能测试 | 第54-55页 |
| 4.2 高频点聚焦式P[VDF-TrFE]超声换能器的研制 | 第55-61页 |
| 4.2.1 高频点聚焦式P[VDF-TrFE]超声换能器的优化设计 | 第55-57页 |
| 4.2.2 金属背衬的选择与制作 | 第57页 |
| 4.2.3 P[VDF-TrFE]压电薄膜的制备 | 第57-58页 |
| 4.2.4 P[VDF-TrFE]压电薄膜的电滞曲线测量 | 第58-59页 |
| 4.2.5 高频点聚焦式P[VDF-TrFE]超声换能器的极化与性能测试 | 第59-61页 |
| 4.3 高频线聚焦式P[VDF-TrFE]超声换能器的设计与制作 | 第61-64页 |
| 4.4 本章小结 | 第64-67页 |
| 第5章 基于V(f,z)测量法的超声显微镜系统 | 第67-77页 |
| 5.1 超声V(f,z)测量系统简介 | 第67-68页 |
| 5.2 基于LabVIEW的超声显微测量软件系统 | 第68-69页 |
| 5.3 半无限域试体表面波波速测量 | 第69-75页 |
| 5.3.1 线聚焦大孔径PVDF超声换能器的系统测试 | 第69-73页 |
| 5.3.2 点聚焦P[VDF-TrFE]高频超声换能器的系统测试 | 第73-75页 |
| 5.4 本章小结 | 第75-77页 |
| 第6章 应用于超声显微系统的弹性常数测量方法研究 | 第77-103页 |
| 6.1 薄板材料的频散曲线测量 | 第77-81页 |
| 6.1.1 铝板(250μm)频散曲线的测量 | 第77-79页 |
| 6.1.2 铝板(380μm)频散曲线的测量 | 第79-81页 |
| 6.2 镀层结构类表面波波速测量 | 第81-85页 |
| 6.2.1 石英/镀镍层(10μm)结构类表面波波速测量 | 第81-83页 |
| 6.2.2 石英/镀镍层(13μm)结构类表面波波速测量 | 第83-85页 |
| 6.3 半无限域(100)块体硅表面波波速测量 | 第85-87页 |
| 6.4 薄板/镀层材料弹性常数反演方法研究 | 第87-102页 |
| 6.4.1 反演问题的论述 | 第87-89页 |
| 6.4.2 基于模拟退火的粒子群优化算法 | 第89页 |
| 6.4.3 反演算法设计 | 第89-92页 |
| 6.4.4 薄板反演结果分析 | 第92-99页 |
| 6.4.5 镀层反演结果分析 | 第99-102页 |
| 6.5 本章小结 | 第102-103页 |
| 结论与展望 | 第103-107页 |
| 参考文献 | 第107-115页 |
| 攻读博士学位期间所取得的学术成果 | 第115-117页 |
| 致谢 | 第117页 |
