| 中文摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 字母注释表 | 第12-13页 |
| 第一章 绪论 | 第13-23页 |
| 1.1 研究背景和意义 | 第13-14页 |
| 1.2 纳米薄膜的制备方法 | 第14-15页 |
| 1.2.1 物理方法 | 第14-15页 |
| 1.2.2 化学方法 | 第15页 |
| 1.3 薄膜结构的研究手段及设备 | 第15-16页 |
| 1.4 薄膜脱粘屈曲研究进展 | 第16-21页 |
| 1.4.1 界面粘接能研究 | 第18-20页 |
| 1.4.2 基底柔性对薄膜脱粘屈曲的影响 | 第20-21页 |
| 1.5 本文主要工作 | 第21-23页 |
| 第二章 薄膜直线型屈曲的实验及理论分析 | 第23-33页 |
| 2.1 直线型屈曲力学分析 | 第23-26页 |
| 2.1.1 薄膜屈曲应力应变分析 | 第23-25页 |
| 2.1.2 能量分析 | 第25-26页 |
| 2.2 试样制备与实验装置 | 第26-28页 |
| 2.2.1 试样制备 | 第26-27页 |
| 2.2.2 实验装置 | 第27-28页 |
| 2.3 直线型屈曲实验研究与理论分析 | 第28-32页 |
| 2.3.1 直线型屈曲扩展实验研究 | 第28-29页 |
| 2.3.2 直线型屈曲扩展理论分析 | 第29-30页 |
| 2.3.3 直线型屈曲失稳实验研究 | 第30-31页 |
| 2.3.4 直线型屈曲失稳理论分析 | 第31-32页 |
| 2.4 本章小结 | 第32-33页 |
| 第三章 基于界面脱粘的泡状屈曲力学性能的实验研究 | 第33-43页 |
| 3.1 泡状屈曲形貌测量 | 第33-34页 |
| 3.2 基于界面脱粘的泡状屈曲压痕实验研究 | 第34-42页 |
| 3.2.1 纳米压痕力学分析模型 | 第34-35页 |
| 3.2.2 粘接良好的膜/基结构弹性模量的测定 | 第35-36页 |
| 3.2.3 300nm泡状屈曲的刚度、弹性模量分析 | 第36-40页 |
| 3.2.4 400nm泡状屈曲的刚度、弹性模量分析 | 第40-42页 |
| 3.3 本章小结 | 第42-43页 |
| 第四章 薄膜/基底结构界面性能的压痕实验研究 | 第43-55页 |
| 4.1 界面粘接能及测试方法 | 第43-47页 |
| 4.1.1 界面粘接能 | 第43-45页 |
| 4.1.2 界面粘接能测试方法 | 第45-47页 |
| 4.2 压痕界面脱粘理论 | 第47-48页 |
| 4.3 基于能量法的界面性能测试理论模型 | 第48-50页 |
| 4.4 膜/基界面性能压痕法表征研究 | 第50-54页 |
| 4.4.1 界面性能压痕实验研究 | 第50-51页 |
| 4.4.2 界面性能结果分析 | 第51-54页 |
| 4.5 本章小结 | 第54-55页 |
| 第五章 薄膜脱粘屈曲及扩展的有限元分析 | 第55-63页 |
| 5.1 内聚力模型 | 第55-56页 |
| 5.2 压痕模型的建立 | 第56-57页 |
| 5.3 界面参数对脱粘屈曲的影响研究 | 第57-62页 |
| 5.4 本章小结 | 第62-63页 |
| 第六章 总结与展望 | 第63-65页 |
| 参考文献 | 第65-70页 |
| 发表论文和参加科研情况说明 | 第70-71页 |
| 致谢 | 第71-72页 |