多层结构声表面波温度传感器的研究与设计
| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 1 绪论 | 第9-14页 |
| 1.1 声表面波技术简介 | 第9-12页 |
| 1.2 项目背景与意义 | 第12-13页 |
| 1.3 本课题研究内容 | 第13-14页 |
| 2 声表面波温度传感器原理与压电学基础 | 第14-26页 |
| 2.1 声表面波温度传感器的基本原理 | 第14-16页 |
| 2.2 压电材料基础 | 第16-21页 |
| 2.3 半无限介质中压电耦合方程的求解 | 第21-25页 |
| 2.4 本章小结 | 第25-26页 |
| 3 多层结构声表面波器件理论与仿真 | 第26-41页 |
| 3.1 晶体材料坐标轴的变换以及其参数的换算 | 第27-28页 |
| 3.2 状态矢量分析法 | 第28-32页 |
| 3.3 刚度矩阵法 | 第32-34页 |
| 3.4 格林函数法 | 第34-35页 |
| 3.5 多层结构介质声表面波器件性能的分析 | 第35-39页 |
| 3.6 本章小结 | 第39-41页 |
| 4 叉指换能器的有限元仿真 | 第41-49页 |
| 4.1 软件建模与仿真过程 | 第41-45页 |
| 4.2 叉指换能器参数的变化对器件性能的影响 | 第45-48页 |
| 4.3 本章小结 | 第48-49页 |
| 5 器件的设计与测试 | 第49-59页 |
| 5.1 多层结构声表面波器件的δ函数模型 | 第49-52页 |
| 5.2 温度传感器的设计与制作 | 第52-53页 |
| 5.3 测试结果与分析 | 第53-56页 |
| 5.4 温度-频率测试 | 第56-58页 |
| 5.5 本章小结 | 第58-59页 |
| 6 温度传感系统应用方案介绍 | 第59-64页 |
| 6.1 传感器设计 | 第59-60页 |
| 6.2 读写器原理与设计 | 第60-61页 |
| 6.3 实时温度监控系统工作原理 | 第61-62页 |
| 6.4 本章小结 | 第62-64页 |
| 7 总结与展望 | 第64-66页 |
| 7.1 总结 | 第64页 |
| 7.2 不足与展望 | 第64-66页 |
| 致谢 | 第66-67页 |
| 参考文献 | 第67-71页 |
| 附录1 攻读学位期间发表论文目录 | 第71页 |
