| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-8页 |
| 1 绪论 | 第12-24页 |
| 1.1 铁电材料的发展及应用 | 第12-13页 |
| 1.2 热探测器件 | 第13-14页 |
| 1.2.1 热探测器件的分类 | 第13-14页 |
| 1.2.2 热释电薄膜探测器 | 第14页 |
| 1.3 PMN-PT的结构与电学特性 | 第14-18页 |
| 1.3.1 PMN-PT材料的结构特征 | 第14-16页 |
| 1.3.2 PMN-PT的电学性质 | 第16-18页 |
| 1.4 PMN-PT薄膜研究现状 | 第18-22页 |
| 1.4.1 PMNT制备方法研究现状 | 第18-19页 |
| 1.4.2 PMNT材料国内外研究现状 | 第19-22页 |
| 1.5 本论文主要研究内容 | 第22-24页 |
| 2 样品制备与测试方法 | 第24-32页 |
| 2.1 实验原料 | 第24-27页 |
| 2.1.1 基片与底电极 | 第24页 |
| 2.1.2 红外吸收层 | 第24-25页 |
| 2.1.3 PMN-PT前驱体原料 | 第25-27页 |
| 2.2 前驱液的配制 | 第27-28页 |
| 2.2.1 影响前驱液质量的因素 | 第27页 |
| 2.2.2 前驱液配制过程 | 第27-28页 |
| 2.3 薄膜旋涂工艺 | 第28-29页 |
| 2.4 薄膜热处理工艺 | 第29页 |
| 2.5 薄膜的表征及测试 | 第29-32页 |
| 2.5.1 X射线衍射分析 | 第29-30页 |
| 2.5.2 扫描电子显微镜分析 | 第30页 |
| 2.5.3 原子力显微镜分析 | 第30页 |
| 2.5.4 介电性能测试 | 第30页 |
| 2.5.5 铁电、漏电性能测试 | 第30页 |
| 2.5.6 热释电性能测试 | 第30-32页 |
| 3 0.7PMN-0.3PT薄膜的制备及特性研究 | 第32-45页 |
| 3.1 PMNT薄膜样品的制备 | 第32-33页 |
| 3.1.1 底电极的制备 | 第32页 |
| 3.1.2 0.7PMN-0.3PT薄膜样品的制备 | 第32-33页 |
| 3.2 物相表征 | 第33-36页 |
| 3.2.1 Pb元素过量对薄膜物相结构的影响 | 第33-34页 |
| 3.2.2 Mg元素过量对薄膜物相结构的影响 | 第34页 |
| 3.2.3 退火温度对薄膜物相结构的影响 | 第34-35页 |
| 3.2.4 保温时间对薄膜物相结构的影响 | 第35-36页 |
| 3.3 薄膜微观形貌的表征 | 第36-40页 |
| 3.3.1 退火工艺对薄膜表面形貌影响 | 第36-37页 |
| 3.3.2 不同电镜下薄膜的表面形貌 | 第37-38页 |
| 3.3.3 薄膜表面元素分布情况 | 第38-39页 |
| 3.3.4 AFM观察薄膜的表面微结构 | 第39-40页 |
| 3.4 薄膜的电学特性表征 | 第40-43页 |
| 3.4.1 0.7PMN-0.3PT薄膜介电特性 | 第40-41页 |
| 3.4.2 0.7PMN-0.3PT薄膜薄膜介电温谱 | 第41-42页 |
| 3.4.3 0.7PMN-0.3PT薄膜铁电特性 | 第42页 |
| 3.4.4 0.7PMN-0.3PT薄膜漏电特性 | 第42-43页 |
| 3.4.5 0.7PMN-0.3PT薄膜热释电特性 | 第43页 |
| 3.5 本章小结 | 第43-45页 |
| 4 不同组分的PMNT薄膜制备及特性分析 | 第45-56页 |
| 4.1 不同组分的PMNT薄膜制备 | 第45页 |
| 4.2 不同组分物相分析 | 第45-46页 |
| 4.3 表面形貌 | 第46-49页 |
| 4.3.1 0.64 PMN-0.36PT扫描电镜的测试 | 第46-47页 |
| 4.3.2 0.64 PMN-0.36PT表面元素的分布 | 第47-48页 |
| 4.3.3 不同组分PMNT薄膜AFM的测试 | 第48-49页 |
| 4.4 不同组分PMNT薄膜电学特性比较 | 第49-55页 |
| 4.4.1 介电特性比较 | 第49-51页 |
| 4.4.2 介电温谱特性比较 | 第51-53页 |
| 4.4.3 铁电特性比较 | 第53-54页 |
| 4.4.4 漏电特性比较 | 第54-55页 |
| 4.5 本章小结 | 第55-56页 |
| 5 稀土La与Pr掺杂对PMNT薄膜特性的影响 | 第56-65页 |
| 5.1 稀土掺杂的PMNT薄膜的制备 | 第56页 |
| 5.2 稀土掺杂对PMNT薄膜物相结构的影响 | 第56-57页 |
| 5.3 稀土掺杂薄膜的电学性能表征 | 第57-61页 |
| 5.3.1 稀土掺杂的介电特性比较 | 第57-58页 |
| 5.3.2 稀土掺杂的介电温谱特性比较 | 第58-60页 |
| 5.3.3 稀土掺杂的铁电特性比较 | 第60页 |
| 5.3.4 稀土掺杂的漏电特性比较 | 第60-61页 |
| 5.4 不同Pr浓度掺杂的电学性能表征 | 第61-63页 |
| 5.4.1 不同Pr浓度掺杂的介电特性比较 | 第61-62页 |
| 5.4.2 不同Pr浓度掺杂的铁电特性比较 | 第62-63页 |
| 5.4.3 不同Pr浓度掺杂的漏电特性比较 | 第63页 |
| 5.5 本章小结 | 第63-65页 |
| 6 红外探测单元微结构的制备 | 第65-70页 |
| 6.1 PMNT图形化研究 | 第65-67页 |
| 6.1.1 PMNT薄膜刻蚀方法比较 | 第65页 |
| 6.1.2 腐蚀剂的选择 | 第65-66页 |
| 6.1.3 湿法腐蚀实验 | 第66-67页 |
| 6.2 上电极图形化制备 | 第67-69页 |
| 6.3 本章小结 | 第69-70页 |
| 7 结论与展望 | 第70-72页 |
| 7.1 结论 | 第70页 |
| 7.2 展望 | 第70-72页 |
| 参考文献 | 第72-76页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第76-77页 |
| 致谢 | 第77-78页 |
