| 致谢 | 第5-7页 |
| 摘要 | 第7-9页 |
| Abstract | 第9-11页 |
| 缩略词表 | 第12-17页 |
| 第1章 绪论 | 第17-29页 |
| 1.1 引言 | 第17-18页 |
| 1.2 声表面波传感器 | 第18-21页 |
| 1.2.1 声表面波器件概述及其传感原理 | 第18-20页 |
| 1.2.2 声表面波传感器研究情况 | 第20-21页 |
| 1.3 摩擦纳米发电机 | 第21-25页 |
| 1.3.1 摩擦纳米发电机概述及其传感原理 | 第21-23页 |
| 1.3.2 摩擦纳米发电机的研究情况 | 第23-25页 |
| 1.4 论文研究意义和章节安排 | 第25-29页 |
| 1.4.1 论文研究意义 | 第25-27页 |
| 1.4.2 论文章节安排 | 第27-29页 |
| 第2章 声表面波器件原理和设计测试方法 | 第29-59页 |
| 2.1 声表面波应变传感器原理 | 第29-44页 |
| 2.1.1 非压电弹性固体中波的传播 | 第29-31页 |
| 2.1.2 压电弹性固体中波的传播 | 第31-33页 |
| 2.1.3 应变下的压电弹性固体中波的传播 | 第33-41页 |
| 2.1.4 声表面波应变传感器的灵敏度 | 第41-44页 |
| 2.2 声表面波器件的设计、制备与表征测试方法 | 第44-59页 |
| 2.2.1 声表面波器件的设计 | 第44-49页 |
| 2.2.2 声表面波器件的制备 | 第49-55页 |
| 2.2.3 声表面波器件的材料表征和器件测试方法 | 第55-59页 |
| 第3章 柔性声表面波应变传感器特性研究 | 第59-89页 |
| 3.1 退火工艺对透明柔性SAW器件材料特性的影响 | 第59-64页 |
| 3.1.1 退火温度对ZnO压电材料的性能影响 | 第59-62页 |
| 3.1.2 退火温度对SAW器件透光性的影响 | 第62-64页 |
| 3.2 柔性玻璃透明ZnO薄膜SAW器件的功率传输性能 | 第64-68页 |
| 3.2.1 ITO电极厚度对SAW器件传输性能的影响 | 第65-67页 |
| 3.2.2 退火温度对SAW器件传输性能的影响 | 第67-68页 |
| 3.3 柔性玻璃ZnO薄膜SAW器件应变传感特性研究 | 第68-87页 |
| 3.3.1 SAW器件的应变测试环境 | 第69-73页 |
| 3.3.2 柔性玻璃ZnO薄膜SAW器件的应变传感测试 | 第73-77页 |
| 3.3.3 柔性SAW应变传感器灵敏度的估算分析方法 | 第77-78页 |
| 3.3.4 柔性玻璃ZnO薄膜SAW应变传感器的优化 | 第78-82页 |
| 3.3.5 柔性玻璃ZnO薄膜SAW应变传感器的稳定性 | 第82-87页 |
| 3.4 本章小结 | 第87-89页 |
| 第4章 摩擦纳米发电机的原理和设计测试方法 | 第89-103页 |
| 4.1 垂直接触分离模式摩擦纳米发电机原理 | 第89-96页 |
| 4.1.1 垂直接触分离模式摩擦纳米发电机的平板电容物理模型 | 第89-94页 |
| 4.1.2 垂直接触分离模式摩擦纳米发电机的等效电路模型 | 第94-96页 |
| 4.2 摩擦纳米发电机的设计制备与表征测试方法 | 第96-101页 |
| 4.2.1 摩擦纳米发电机的设计和制备方法 | 第96-98页 |
| 4.2.2 摩擦纳米发电机的材料表征和器件测试方法 | 第98-101页 |
| 4.3 本章小结 | 第101-103页 |
| 第5章 摩擦纳米发电机自供能传感器特性研究 | 第103-143页 |
| 5.1 用于能量收集的透明垂直接触分离模式摩擦纳米发电机 | 第103-115页 |
| 5.1.1 不同接触条件和玻璃厚度对摩擦纳米发电机信号输出的影响 | 第104-109页 |
| 5.1.2 摩擦纳米发电机优化的理论计算结果 | 第109-113页 |
| 5.1.3 摩擦纳米发电机的稳定性研究 | 第113-115页 |
| 5.2 用于能量收集的透明单电极模式摩擦纳米发电机 | 第115-121页 |
| 5.2.1 不同接触条件下摩擦纳米发电机电信号输出性能研究 | 第116-118页 |
| 5.2.2 不同玻璃厚度下摩擦纳米发电机电信号输出性能研究 | 第118-119页 |
| 5.2.3 不同湿度下摩擦纳米发电机电信号输出性能研究 | 第119-120页 |
| 5.2.4 在重复试验下摩擦纳米发电机电信号输出性能稳定性研究 | 第120-121页 |
| 5.3 基于玻璃的透明摩擦纳米发电机自供能传感阵列 | 第121-131页 |
| 5.3.1 透明摩擦纳米发电机传感阵列的制备和测试环境 | 第121-125页 |
| 5.3.2 透明摩擦纳米发电机传感阵列的路径追踪测试 | 第125-131页 |
| 5.4 自带射频识别信号的自供能无线摩擦纳米发电机传感系统 | 第131-141页 |
| 5.4.1 自带射频识别信号的摩擦纳米发电机的基本原理 | 第132-134页 |
| 5.4.2 自带射频识别信号的摩擦纳米发电机的性能优化 | 第134-139页 |
| 5.4.3 自带射频识别信号的无线摩擦纳米发电机传感系统测试 | 第139-141页 |
| 5.5 本章小结 | 第141-143页 |
| 第6章 总结与展望 | 第143-149页 |
| 6.1 论文主要内容 | 第143-145页 |
| 6.2 论文主要创新点 | 第145-146页 |
| 6.3 论文的不足之处和未来工作展望 | 第146-149页 |
| 参考文献 | 第149-161页 |
| 个人筒历 | 第161页 |
| 已发表和录用的学术文章 | 第161-163页 |
