| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6页 |
| 第1章 引言 | 第9-17页 |
| 1.1 铁电材料简介 | 第9-11页 |
| 1.1.1 铁电材料与铁电薄膜材料 | 第9-10页 |
| 1.1.2 铁电体的概念、结构及性质 | 第10-11页 |
| 1.2 集成铁电学的发展 | 第11-12页 |
| 1.3 铁电存储器的优点及存储原理 | 第12-14页 |
| 1.4 导电阻挡层介绍 | 第14-15页 |
| 1.5 Pb(ZrxTi1-x)O3材料简介 | 第15页 |
| 1.6 本论文的主要内容及意义 | 第15-17页 |
| 第2章 Si 基含 Ti-Al 导电阻挡层的 LSCO/PZT/LSCO 电容器研究 | 第17-26页 |
| 2.1 薄膜材料制备方法 | 第17-20页 |
| 2.1.1 溶胶-凝胶法 | 第17-19页 |
| 2.1.2 磁控溅射法 | 第19-20页 |
| 2.2 Pt/LSCO/PZT/LSCO/Ti-Al/Si 异质结的制备 | 第20-21页 |
| 2.3 退火工艺简介 | 第21页 |
| 2.4 Pt/LSCO/PZT/LSCO/Ti-Al/Si 异质结物性研究 | 第21-24页 |
| 2.4.1 铁电性能综合测试仪 | 第21-22页 |
| 2.4.2 实验结果与分析 | 第22-24页 |
| 2.5 小结 | 第24-26页 |
| 第3章 PZT 前驱体中铅过量对铁电电容器极化翻转性能的影响 | 第26-34页 |
| 3.1 LSCO/PZT/LSCO 铁电电容器的结构 | 第26-27页 |
| 3.2 薄膜的表征手段 | 第27-30页 |
| 3.2.1 X 射线衍射仪 | 第27-29页 |
| 3.2.2 四探针测试仪 | 第29-30页 |
| 3.3 实验结果与分析 | 第30-33页 |
| 3.4 小结 | 第33-34页 |
| 第4章 Si 基高度择优取向 Ti3Al 导电阻挡层的研究 | 第34-39页 |
| 4.1 Ti3Al 薄膜的制备 | 第35-36页 |
| 4.2 实验结果及讨论 | 第36-38页 |
| 4.3 小结 | 第38-39页 |
| 结语 | 第39-40页 |
| 参考文献 | 第40-46页 |
| 致谢 | 第46-48页 |
| 攻读硕士期间发表的学术论文 | 第48页 |
