咪唑啉衍生物缓蚀性能的理论研究
摘要 | 第1-5页 |
Abstract | 第5-8页 |
第一章 前言 | 第8-14页 |
·缓蚀剂简介 | 第8-11页 |
·缓蚀剂的定义 | 第8页 |
·缓蚀剂分子的结构特征 | 第8-9页 |
·缓蚀剂的分类 | 第9-10页 |
·缓蚀剂的发展历史及研究现状 | 第10-11页 |
·有机缓蚀剂 | 第11-12页 |
·缓蚀机理 | 第11-12页 |
·常用有机缓蚀剂 | 第12页 |
·咪唑啉类缓蚀剂 | 第12-14页 |
第二章 理论计算方法简介 | 第14-20页 |
·量子化学方法 | 第14-16页 |
·分子力场方法 | 第16-18页 |
·分子力学 | 第16页 |
·分子动力学模拟 | 第16-18页 |
·软件介绍 | 第18-20页 |
第三章 咪唑啉衍生物缓蚀性能的量子化学研究 | 第20-29页 |
·量子化学参数 | 第20-21页 |
·量子化学计算 | 第21-29页 |
·计算方法 | 第21-22页 |
·结果与讨论 | 第22-27页 |
·小结 | 第27-29页 |
第四章 咪唑啉衍生物在金属表面自组装成膜研究 | 第29-36页 |
·计算方法 | 第29-30页 |
·分子动力学模拟 | 第29-30页 |
·分子力学 | 第30页 |
·结果与讨论 | 第30-36页 |
·单个缓蚀剂分子在金属表面吸附行为的MD 模拟 | 第30-32页 |
·缓蚀剂在金属表面的自组装单层膜 | 第32-34页 |
·小结 | 第34-36页 |
第五章 液相条件下咪唑啉衍生物在金属表面吸附研究 | 第36-46页 |
·引言 | 第36页 |
·计算方法 | 第36-38页 |
·模型构建 | 第36-37页 |
·计算细节 | 第37-38页 |
·结果与讨论 | 第38-46页 |
·单个缓蚀剂分子在金属表面的吸附 | 第38-41页 |
·多个缓蚀剂分子在金属表面的吸附成膜 | 第41-44页 |
·本章小结 | 第44-46页 |
结论 | 第46-48页 |
参考文献 | 第48-51页 |
攻读硕士学位期间取得的学术成果 | 第51-52页 |
致谢 | 第52页 |