| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第一章 引言 | 第9-19页 |
| ·引言 | 第9页 |
| ·缓蚀剂 | 第9-10页 |
| ·缓蚀剂的分类 | 第9页 |
| ·缓蚀剂的作用机理 | 第9-10页 |
| ·缓蚀剂里的实验研究方法 | 第10页 |
| ·缓蚀机理的计算机模拟研究方法 | 第10-14页 |
| ·量子化学计算方法研究 | 第10-14页 |
| ·分子动力学模拟方法 | 第14页 |
| ·三唑类缓蚀剂研究与发展 | 第14-17页 |
| ·本论文研究工作 | 第17-19页 |
| 第二章 理论方法与计算软件简介 | 第19-25页 |
| ·理论方法 | 第19-24页 |
| ·密度泛函理论（DFT） | 第19-22页 |
| ·分子动力学模拟方法 | 第22-24页 |
| ·Gaussian 和Material Studio 软件简介 | 第24-25页 |
| ·Gaussian 软件简介 | 第24页 |
| ·Material Studio 软件简介 | 第24-25页 |
| 第三章 三唑类缓蚀剂构效关系的理论研究 | 第25-43页 |
| ·前言 | 第25-26页 |
| ·理论基础 | 第26-27页 |
| ·铜合金表面缓蚀剂计算结果与讨论 | 第27-36页 |
| ·全局反应活性以及分子量化参数与缓蚀剂缓蚀性的关系 | 第27-30页 |
| ·局部反应活性 | 第30-32页 |
| ·缓蚀剂分子在金属表面的吸附 | 第32-36页 |
| ·铜表面缓蚀剂计算结果与讨论 | 第36-42页 |
| ·全局反应活性以及分子量化参数与缓蚀剂缓蚀性的关系 | 第36-39页 |
| ·局部反应活性 | 第39-42页 |
| ·结论 | 第42-43页 |
| 第四章 三唑类缓蚀剂在金属表面吸附的分子动力学模拟 | 第43-55页 |
| ·引言 | 第43页 |
| ·计算方法 | 第43-45页 |
| ·模型建立 | 第43-44页 |
| ·计算方法 | 第44-45页 |
| ·模拟平衡判据 | 第45页 |
| ·结果与讨论 | 第45-53页 |
| ·三唑类缓蚀剂对铜锌合金缓蚀机理动力学模拟 | 第45-48页 |
| ·三唑类缓蚀剂对铜缓蚀机理动力学模拟 | 第48-53页 |
| ·结论 | 第53-55页 |
| 第五章 腐蚀介质粒子在缓蚀剂膜中扩散行为的动力学研究 | 第55-62页 |
| ·引言 | 第55-56页 |
| ·计算方法 | 第56页 |
| ·模型建立 | 第56页 |
| ·计算方法 | 第56页 |
| ·结果与讨论 | 第56-60页 |
| ·分子动力学体系的平衡 | 第56-57页 |
| ·腐蚀介质粒子在缓蚀剂膜中的活动性 | 第57-58页 |
| ·腐蚀介质粒子在缓蚀剂体系中的扩散系数 | 第58-59页 |
| ·腐蚀介质粒子与缓蚀剂膜的相互作用 | 第59-60页 |
| ·结论 | 第60-62页 |
| 结论 | 第62-64页 |
| 参考文献 | 第64-71页 |
| 致谢 | 第71-72页 |
| 攻读硕士学位期间取得的学术成果 | 第72页 |
