| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-8页 |
| 第一章 绪论 | 第12-24页 |
| 1.1 引言 | 第12-15页 |
| 1.2 涂胶镀膜工艺 | 第15-19页 |
| 1.2.1 光学薄膜涂覆工艺概述 | 第15-17页 |
| 1.2.2 主要涂胶方法 | 第17-19页 |
| 1.3 弯月面涂胶发展概况 | 第19-21页 |
| 1.3.1 弯月面涂胶的发展和应用 | 第19-20页 |
| 1.3.2 弯月面涂胶的特点 | 第20-21页 |
| 1.4 选题意义与论文构成 | 第21-24页 |
| 1.4.1 选题意义 | 第21页 |
| 1.4.2 论文构成 | 第21-24页 |
| 第二章 小型样机实验及胶厚测量分析方法 | 第24-40页 |
| 2.1 弯月面涂胶的原理 | 第24-30页 |
| 2.1.1 涂覆模型 | 第24-25页 |
| 2.1.2 涂覆原理 | 第25-29页 |
| 2.1.3 分析讨论 | 第29-30页 |
| 2.2 小型实验样机的设计和搭建 | 第30-33页 |
| 2.2.1 胶盒及涂覆器的设计 | 第30-31页 |
| 2.2.2 小型样机的设计搭建 | 第31-33页 |
| 2.3 胶厚的测量及均匀性分析 | 第33-37页 |
| 2.3.1 胶厚的测量 | 第33-35页 |
| 2.3.2 数据处理与定标 | 第35-36页 |
| 2.3.3 胶厚均匀性的分析 | 第36-37页 |
| 2.4 本章小结 | 第37-40页 |
| 第三章 弯月面涂覆的均匀性改进 | 第40-52页 |
| 3.1 引言 | 第40-41页 |
| 3.2 影响胶厚均匀性的关键因素 | 第41-48页 |
| 3.2.1 速率胶厚关系 | 第41-42页 |
| 3.2.2 基片涂覆器间隙对胶厚的影响 | 第42-43页 |
| 3.2.3 加热装置对胶厚均匀性的影响 | 第43-46页 |
| 3.2.4 气流对胶厚均匀性的影响 | 第46-47页 |
| 3.2.5 其它因素 | 第47-48页 |
| 3.3 涂覆均匀性的改进 | 第48-50页 |
| 3.4 本章小结 | 第50-52页 |
| 第四章 大型弯月面涂胶机的设计安装和实验 | 第52-78页 |
| 4.1 引言 | 第52页 |
| 4.2 机械结构的设计 | 第52-58页 |
| 4.2.1 系统机械结构的设计 | 第52-54页 |
| 4.2.2 胶盒系统的设计 | 第54-55页 |
| 4.2.3 辅助设备的设计和制作 | 第55-58页 |
| 4.3 电机和光电子设备的选取 | 第58-62页 |
| 4.3.1 直线电机的运用 | 第58-60页 |
| 4.3.2 系统调整电机的选取 | 第60页 |
| 4.3.3 光电等其它设备的选用 | 第60-62页 |
| 4.4 大型弯月面涂胶工艺流程 | 第62-64页 |
| 4.5 自动调整和控制系统 | 第64-67页 |
| 4.5.1 基片目标位置的自动回归 | 第64页 |
| 4.5.2 控制系统界面 | 第64-67页 |
| 4.6 涂覆实验及效果分析 | 第67-70页 |
| 4.7 均匀性影响因素及系统改进 | 第70-76页 |
| 4.7.1 沟槽型涂覆器槽宽对胶厚均匀性的影响 | 第70-72页 |
| 4.7.2 液面气泡的影响 | 第72-73页 |
| 4.7.3 气流的调节 | 第73-75页 |
| 4.7.4 间隙的稳定性 | 第75-76页 |
| 4.8 本章小结 | 第76-78页 |
| 第五章 石英溶胶凝胶减反膜的弯月面涂覆研究 | 第78-92页 |
| 5.1 引言 | 第78页 |
| 5.2 减反膜的基本原理和sol-gel涂覆 | 第78-80页 |
| 5.3 石英溶胶凝胶减反膜的弯月面涂覆 | 第80-82页 |
| 5.3.1 平面玻璃的涂覆 | 第80-81页 |
| 5.3.2 sol-gel膜弯月面涂覆效果分析 | 第81-82页 |
| 5.4 BSG样品的石英sol-gel减反膜弯月面涂覆 | 第82-91页 |
| 5.4.1 膜层的观察效果 | 第82-87页 |
| 5.4.2 sol-gel减反膜对BSG衍射效率的影响 | 第87-91页 |
| 5.5 本章小结 | 第91-92页 |
| 第六章 总结与展望 | 第92-94页 |
| 6.1 论文总结 | 第92页 |
| 6.2 论文的主要工作 | 第92-93页 |
| 6.3 后续工作 | 第93-94页 |
| 参考文献 | 第94-100页 |
| 攻读博士学位期间发表的论文 | 第100-102页 |
| 致谢 | 第102-103页 |