“酒杯状”微壳体振动陀螺结构设计与加工工艺研究
| 摘要 | 第10-11页 |
| Abstract | 第11页 |
| 第一章 绪论 | 第12-23页 |
| 1.1 课题研究背景及意义 | 第12-14页 |
| 1.2 国内外微壳体振动陀螺研究现状综述 | 第14-19页 |
| 1.3 前人工作 | 第19-21页 |
| 1.4 论文的主要研究内容 | 第21-23页 |
| 第二章 微壳体振动陀螺理论分析与结构设计 | 第23-38页 |
| 2.1 微壳体振动陀螺的结构及工作原理 | 第23-26页 |
| 2.1.1 微壳体振动陀螺的基本结构 | 第23-26页 |
| 2.1.2 微壳体振动陀螺的工作原理 | 第26页 |
| 2.2 微壳体振动陀螺动力学分析 | 第26-31页 |
| 2.2.1 微壳体谐振结构动能T_E | 第27-29页 |
| 2.2.2 微壳体谐振结构势能V_E | 第29-30页 |
| 2.2.3 阻尼导致的能量耗散D_E | 第30-31页 |
| 2.3 微壳体振动陀螺有限元仿真 | 第31-37页 |
| 2.3.1 微壳体谐振结构模态仿真 | 第31-35页 |
| 2.3.2 微壳体振动陀螺谐响应仿真 | 第35-36页 |
| 2.3.3 微壳体振动陀螺结构尺寸确定 | 第36-37页 |
| 2.4 本章小结 | 第37-38页 |
| 第三章 熔融石英三维MEMS曲面结构加工工艺 | 第38-51页 |
| 3.1 熔融石英三维MEMS曲面结构加工原理 | 第38-41页 |
| 3.1.1 熔融石英吹制原理 | 第38-39页 |
| 3.1.2 三维MEMS曲面结构加工仿真 | 第39-41页 |
| 3.2 三维MEMS曲面结构加工平台 | 第41-45页 |
| 3.3 三维MEMS曲面结构加工工艺 | 第45-50页 |
| 3.3.1 三维MEMS曲面结构非靠模法加工工艺 | 第45-48页 |
| 3.3.2 三维MEMS曲面结构靠模法加工工艺 | 第48-50页 |
| 3.4 本章小结 | 第50-51页 |
| 第四章 微壳体振动陀螺样机加工工艺 | 第51-63页 |
| 4.1 主要加工工艺流程 | 第51-52页 |
| 4.2 微壳体谐振结构加工工艺 | 第52-57页 |
| 4.2.1 微壳体谐振结构释放 | 第52-55页 |
| 4.2.2 微壳体谐振结构表面金属化 | 第55-57页 |
| 4.3 微壳体振动陀螺电极基板加工工艺 | 第57-60页 |
| 4.3.1 玻璃基板湿法腐蚀 | 第58页 |
| 4.3.2 电极加工 | 第58-60页 |
| 4.4 陀螺微装配及贴片引线 | 第60-62页 |
| 4.5 本章小结 | 第62-63页 |
| 第五章 微壳体振动陀螺性能测试与误差分析 | 第63-72页 |
| 5.1 微壳体谐振结构测量与分析 | 第63-68页 |
| 5.1.1 微壳体谐振结构曲面面形 | 第63-65页 |
| 5.1.2 微壳体谐振结构几何对称度 | 第65页 |
| 5.1.3 微壳体谐振结构表面加工质量 | 第65-66页 |
| 5.1.4 微壳体谐振结构误差分析与改进 | 第66-68页 |
| 5.2 微壳体振动陀螺静态电容和模态测试 | 第68-71页 |
| 5.2.1 微壳体振动陀螺静态电容测试 | 第68-69页 |
| 5.2.2 微壳体振动陀螺模态测试 | 第69页 |
| 5.2.3 微壳体振动陀螺误差分析与改进 | 第69-71页 |
| 5.3 本章小结 | 第71-72页 |
| 第六章 总结与展望 | 第72-75页 |
| 6.1 全文总结 | 第72-73页 |
| 6.2 研究展望 | 第73-75页 |
| 致谢 | 第75-77页 |
| 参考文献 | 第77-81页 |
| 作者在学期间取得的学术成果 | 第81页 |
