| 摘要 | 第10-11页 |
| ABSTRACT | 第11页 |
| 第一章 绪论 | 第12-22页 |
| 1.1 课题来源与意义 | 第12-17页 |
| 1.1.1 课题来源 | 第12页 |
| 1.1.2 课题研究的背景与意义 | 第12-17页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第17-20页 |
| 1.2.1 凸非球面面形误差测量技术国内外研究现状 | 第17-18页 |
| 1.2.2 柱面反射镜面形误差测量技术国内外研究现状 | 第18-20页 |
| 1.3 本文的主要研究内容 | 第20-22页 |
| 第二章 凸非球面次镜的在位校准补偿检验 | 第22-38页 |
| 2.1 凸非球面次镜在位校准补偿检验原理 | 第23-25页 |
| 2.1.1 被检凸非球面次镜检验光路设计 | 第23-24页 |
| 2.1.2 凸非球面补偿透镜在位校准光路设计 | 第24-25页 |
| 2.2 凸非球面次镜在位校准补偿检验的误差分析 | 第25-34页 |
| 2.2.1 凸非球面次镜在位校准补偿检验的误差分离原理 | 第25-28页 |
| 2.2.2 校准补偿器的加工和装调精度分析 | 第28-34页 |
| 2.2.3 凸非球面次镜在位校准补偿检验系统的检测精度 | 第34页 |
| 2.3 凸非球面次镜在位校准补偿检验实验验证 | 第34-37页 |
| 2.3.1 凸非球面次镜在位校准补偿检验的误差分离实验 | 第34-36页 |
| 2.3.2 凸非球面次镜在位校准补偿检验的互检验证 | 第36-37页 |
| 2.4 本章小结 | 第37-38页 |
| 第三章 柱面反射镜的CGH补偿检验 | 第38-54页 |
| 3.1 柱面反射镜的CGH检验方案设计 | 第38-41页 |
| 3.1.1 柱面反射镜的CGH补偿检验原理 | 第38-39页 |
| 3.1.2 柱面反射镜的CGH设计 | 第39-41页 |
| 3.2 柱面反射镜的CGH补偿检测子孔径拼接方法 | 第41-46页 |
| 3.2.1 柱面反射镜的失调像差 | 第42-44页 |
| 3.2.2 柱面反射镜的子孔径拼接算法 | 第44-46页 |
| 3.3 柱面反射镜子孔径拼接算法模拟验证 | 第46-49页 |
| 3.4 柱面反射镜子孔径拼接算法实验验证 | 第49-53页 |
| 3.5 本章小结 | 第53-54页 |
| 第四章 柱面反射镜的近零位子孔径测量方法 | 第54-62页 |
| 4.1 圆柱面反射镜子孔径的三级像差 | 第54-56页 |
| 4.2 柱面反射镜的双回转CGH设计 | 第56-60页 |
| 4.2.1 柱面反射镜检测的近零位补偿器工作原理 | 第56-57页 |
| 4.2.2 柱面反射镜检测的双回转CGH相位函数设计 | 第57-60页 |
| 4.3 柱面反射镜的近零位子孔径拼接算法 | 第60-61页 |
| 4.4 本章小结 | 第61-62页 |
| 第五章 总结和展望 | 第62-64页 |
| 5.1 全文总结 | 第62页 |
| 5.2 研究展望 | 第62-64页 |
| 致谢 | 第64-66页 |
| 参考文献 | 第66-70页 |
| 作者在学期间取得的学术成果 | 第70页 |
