| 摘要 | 第9-10页 |
| ABSTRACT | 第10页 |
| 第一章 绪论 | 第11-21页 |
| 1.1 课题来源及研究意义 | 第11-13页 |
| 1.1.1 课题来源 | 第11页 |
| 1.1.2 课题研究意义 | 第11-13页 |
| 1.2 激光损伤阈值测试与提升研究现状 | 第13-20页 |
| 1.2.1 激光损伤阈值测试的研究现状 | 第13-15页 |
| 1.2.2 阈值提升研究现状 | 第15-20页 |
| 1.3 论文主要研究内容 | 第20-21页 |
| 第二章 激光损伤阈值测试装置的研制 | 第21-33页 |
| 2.1 激光损伤阈值测试装置设计目标 | 第21页 |
| 2.2 激光损伤阈值测试装置设计方案 | 第21-29页 |
| 2.2.1 硬件构成 | 第22-26页 |
| 2.2.2 控制系统设计 | 第26-29页 |
| 2.3 激光损伤阈值测试实例分析 | 第29-32页 |
| 2.4 本章小结 | 第32-33页 |
| 第三章 熔石英元件亚表面划痕的损伤特性研究 | 第33-45页 |
| 3.1 熔石英材料力学行为研究 | 第33-37页 |
| 3.1.1 纳米压痕实验原理及方法 | 第33-34页 |
| 3.1.2 实验结果分析 | 第34-37页 |
| 3.2 不同类型划痕对光场调制的FDTD仿真分析 | 第37-40页 |
| 3.2.1 时域有限差分法(FDTD)简介 | 第37-38页 |
| 3.2.2 不同类型划痕光场调制的FDTD分析 | 第38-40页 |
| 3.3 不同类型划痕阈值测试 | 第40-43页 |
| 3.4 本章小结 | 第43-45页 |
| 第四章 后处理工艺对初始损伤阈值的影响规律研究 | 第45-59页 |
| 4.1 HF酸刻蚀对初始损伤阈值的影响规律研究 | 第45-53页 |
| 4.1.1 HF酸刻蚀速率 | 第45-46页 |
| 4.1.2 划痕形貌、损伤阈值随刻蚀时间的演变规律 | 第46-49页 |
| 4.1.3 FDTD模拟 | 第49-51页 |
| 4.1.4 表面粗糙度与损伤阈值随刻蚀时间的变化规律 | 第51-53页 |
| 4.2 离子束抛光对初始损伤阈值的影响规律研究 | 第53-58页 |
| 4.2.1 划痕形貌、损伤阈值随去除深度的演变规律 | 第53-55页 |
| 4.2.2 FDTD模拟 | 第55-56页 |
| 4.2.3 表面粗糙度与损伤阈值随去除深度的变化规律 | 第56-58页 |
| 4.3 本章小结 | 第58-59页 |
| 第五章 总结与展望 | 第59-61页 |
| 5.1 全文总结 | 第59页 |
| 5.2 研究展望 | 第59-61页 |
| 致谢 | 第61-63页 |
| 参考文献 | 第63-67页 |
| 作者在学期间取得的学术成果 | 第67页 |
