基于超材料的太赫兹与长波红外探测方法研究
| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 1 绪论 | 第10-18页 |
| 1.1 课题背景及研究意义 | 第10-13页 |
| 1.2 国内外发展状况 | 第13-16页 |
| 1.3 课题来源及论文主要工作 | 第16-18页 |
| 2 超材料太赫兹与长波红外探测器的建模与仿真 | 第18-43页 |
| 2.1 超材料的基本属性与光电特征 | 第18-21页 |
| 2.2 超材料探测架构建模 | 第21-26页 |
| 2.3 探测架构的光电响应特性仿真 | 第26-42页 |
| 2.4 小结 | 第42-43页 |
| 3 超材料探测器的设计与制作 | 第43-72页 |
| 3.1 光刻版图 | 第43-46页 |
| 3.2 器件结构与典型参数 | 第46-53页 |
| 3.3 器件制作工艺 | 第53-71页 |
| 3.4 小结 | 第71-72页 |
| 4 超材料探测器的测试与分析 | 第72-78页 |
| 4.1 光电响应测试 | 第72-76页 |
| 4.2 测试结果分析 | 第76-77页 |
| 4.3 小结 | 第77-78页 |
| 5 太赫兹相控阵的设计与制作 | 第78-93页 |
| 5.1 图案化电极的设计 | 第78-79页 |
| 5.2 太赫兹相控阵的结构制作 | 第79-80页 |
| 5.3 常规测试与分析 | 第80-92页 |
| 5.4 小结 | 第92-93页 |
| 6 结论与展望 | 第93-95页 |
| 6.1 总结 | 第93-94页 |
| 6.2 展望 | 第94-95页 |
| 致谢 | 第95-96页 |
| 参考文献 | 第96-101页 |
| 附录1攻读硕士期间发表的文章及专利 | 第101页 |
