| 摘要 | 第5-6页 |
| abstract | 第6-7页 |
| 第1章 引言 | 第10-20页 |
| 1.1 研究背景 | 第10-17页 |
| 1.2 研究意义和内容 | 第17-20页 |
| 第2章 椭球镜的设计与拉制 | 第20-28页 |
| 2.1 椭球镜设计 | 第20-24页 |
| 2.2 椭球镜的拉制 | 第24-28页 |
| 2.2.1 研制方案与技术路线 | 第24页 |
| 2.2.2 材料的选择 | 第24-25页 |
| 2.2.3 制备工艺 | 第25-26页 |
| 2.2.4 椭球镜的拉制 | 第26-28页 |
| 第3章 椭球镜的检测 | 第28-66页 |
| 3.1 椭球镜的光学检测 | 第28-31页 |
| 3.1.1 检测参数及检测方法 | 第28-30页 |
| 3.1.2 检测结果 | 第30-31页 |
| 3.2 椭球镜同步辐射X射线检测 | 第31-63页 |
| 3.2.1 检测参数与检测方法 | 第31-41页 |
| 3.2.2 实验及结果 | 第41-63页 |
| 3.3 结论 | 第63-66页 |
| 第4章 基于研制的椭球镜TXM成像 | 第66-80页 |
| 4.1 针对匹配 70nm波带片的椭球镜成像检测 | 第66-70页 |
| 4.1.1 基于研制的椭球镜TXM系统搭建 | 第66-68页 |
| 4.1.2 成像实验与结果 | 第68-70页 |
| 4.2 针对匹配 30nm波带片的椭球镜的成像检测 | 第70-77页 |
| 4.2.1 基于测试线站的TXM系统搭建 | 第70-72页 |
| 4.2.2 成像实验与结果 | 第72-74页 |
| 4.2.3 实验中遇到的问题及解决办法 | 第74-77页 |
| 4.3 总结 | 第77-80页 |
| 第5章 总结与展望 | 第80-82页 |
| 5.1 总结 | 第80-81页 |
| 5.2 展望 | 第81-82页 |
| 参考文献 | 第82-88页 |
| 致谢 | 第88-90页 |
| 作者简历及攻读学位期间发表的学术论文与研究成果 | 第90页 |