基于MEMS技术的滤波器设计
| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-20页 |
| 1.1 研究背景及意义 | 第9-12页 |
| 1.2 MEMS滤波器国内外发展现状 | 第12-17页 |
| 1.3 研究内容 | 第17-18页 |
| 1.4 本文内容安排与创新点 | 第18-20页 |
| 第二章 滤波器的基本理论和设计方法 | 第20-31页 |
| 2.1 滤波器的基本原理 | 第20页 |
| 2.2 微波谐振电路 | 第20-23页 |
| 2.2.1 串联和并联谐振电路 | 第21-22页 |
| 2.2.2 传输线谐振器 | 第22页 |
| 2.2.3 矩形波导谐振腔 | 第22-23页 |
| 2.3 低通原型滤波器及频率变换 | 第23-25页 |
| 2.4 滤波器谐振器间耦合系数的计算 | 第25-29页 |
| 2.4.1 三种耦合的耦合系数计算 | 第26-28页 |
| 2.4.2 HFSS建模计算耦合系数 | 第28-29页 |
| 2.5 微波滤波器的设计方法 | 第29-31页 |
| 第三章 Ka波段MEMS滤波器设计 | 第31-45页 |
| 3.1 设计指标 | 第31页 |
| 3.2 谐振器结构及材料的选择 | 第31-35页 |
| 3.2.1 滤波器谐振器的选择 | 第31-33页 |
| 3.2.2 滤波器材料的选择 | 第33-35页 |
| 3.3 SIW滤波器的设计与计算 | 第35-38页 |
| 3.3.1 SIW滤波器谐振器尺寸计算 | 第35-37页 |
| 3.3.2 SIW滤波器耦合设计 | 第37页 |
| 3.3.3 SIW滤波器输入输出设计 | 第37-38页 |
| 3.4 Ka波段MEMS滤波器设计 | 第38-43页 |
| 3.4.1 滤波器结构设计 | 第38-39页 |
| 3.4.2 滤波器单腔设计 | 第39页 |
| 3.4.3 滤波器的耦合设计 | 第39-40页 |
| 3.4.4 滤波器结仿真优化设计 | 第40-43页 |
| 3.5 与相同结构滤波器对比 | 第43-44页 |
| 3.6 本章小结 | 第44-45页 |
| 第四章 C波段MEMS滤波器设计 | 第45-55页 |
| 4.1 设计指标 | 第45页 |
| 4.2 谐振器和材料的选取 | 第45-46页 |
| 4.3 交指滤波器的设计原理 | 第46-47页 |
| 4.4 C波段双层MEMS滤波器设计 | 第47-51页 |
| 4.4.1 滤波器初始结构参数设计 | 第47-49页 |
| 4.4.2 滤波器的仿真优化设计 | 第49-51页 |
| 4.5 与相同结构滤波器对比 | 第51-52页 |
| 4.6 双层结构推广到其他波段 | 第52-53页 |
| 4.7 本章小结 | 第53-55页 |
| 第五章 MEMS滤波器制作和封装测试 | 第55-68页 |
| 5.1 MEMS工艺 | 第55-60页 |
| 5.2 滤波器的封装及测试环境 | 第60-61页 |
| 5.3 Ka波段单层滤波器工艺制作流程及测试分析 | 第61-63页 |
| 5.3.1 Ka波段单层滤波器工艺制作流程 | 第61-62页 |
| 5.3.2 Ka波段单层滤波器实物测试与分析 | 第62-63页 |
| 5.4 C波段双层滤波器工艺制作流程及测试分析 | 第63-67页 |
| 5.4.1 C波段双层滤波器工艺制作流程 | 第63-64页 |
| 5.4.2 C波段双层滤波器实物测试与分析 | 第64-67页 |
| 5.5 本章小结 | 第67-68页 |
| 第六章 总结与展望 | 第68-69页 |
| 致谢 | 第69-70页 |
| 参考文献 | 第70-73页 |
