石墨烯场效应器件的制备与性能研究
| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第10-16页 |
| 1.1 课题研究目的及意义 | 第10-11页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第11-14页 |
| 1.2.1 石墨烯材料研究现状 | 第11-12页 |
| 1.2.2 石墨烯场效应器件研究现状 | 第12-14页 |
| 1.3 本文主要研究内容 | 第14-16页 |
| 第2章 石墨烯场效应器件的制备原理 | 第16-25页 |
| 2.1 石墨烯场效应器件的制备流程 | 第16页 |
| 2.2 石墨烯的制备原理 | 第16-22页 |
| 2.3 石墨烯场效应器件的制备原理 | 第22-24页 |
| 2.4 本章小结 | 第24-25页 |
| 第3章 石墨烯场效应器件的制备试验 | 第25-44页 |
| 3.1 石墨烯的制备试验 | 第25-36页 |
| 3.1.1 石墨烯的生长 | 第25-27页 |
| 3.1.2 石墨烯的转移 | 第27-30页 |
| 3.1.3 石墨烯的表征 | 第30-36页 |
| 3.2 石墨烯场效应器件的制备 | 第36-43页 |
| 3.2.1 石墨烯场效应器件制备流程 | 第36-37页 |
| 3.2.2 器件制备关键工艺 | 第37-42页 |
| 3.2.3 器件制备工艺改进 | 第42-43页 |
| 3.3 本章小结 | 第43-44页 |
| 第4章 石墨烯场效应器件的性能研究 | 第44-56页 |
| 4.1 石墨烯场效应器件的传输特性研究 | 第45-49页 |
| 4.1.1 石墨烯-金属接触性能测试分析 | 第45-47页 |
| 4.1.2 转移与输出特性测试与分析 | 第47-49页 |
| 4.2 石墨烯导电沟道的光电特性研究 | 第49-50页 |
| 4.3 石墨烯场效应器件的吸附特性研究 | 第50-55页 |
| 4.3.1 石墨烯的吸附特性测试 | 第50-52页 |
| 4.3.2 石墨烯的脱附方法及试验 | 第52-55页 |
| 4.4 本章小结 | 第55-56页 |
| 结论 | 第56-57页 |
| 参考文献 | 第57-61页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学位论文及科研成果 | 第61-62页 |
| 致谢 | 第62页 |
